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激光修阻機
閱讀�934時間�2022-04-25 17:36:35

    激光修阻機主要應用于厚�、薄膜電路的精密調節(jié)。廣泛應用于厚膜混合集成電路、電子元器件、汽車電器�傳感�、軍工科�、片�電阻等行�(yè)�

設備特點

    --調阻精度高:先進的激光器提供了TEM00高光束質量和極細線寬的激光束;四線制高速測量系�(tǒng),測量時間僅�25us;擁有軟件預調誤差補償功��
    --調阻速度快:先進的激光器擁有極高的重復頻�,在保證光斑重疊率的情況下能擁有很高速度;德國進口掃描振鏡,掃描速度極快;高精度分步重復機構,空氣軸承,移動速度及加速度��
    --可靠性高:整機配置核心器件均采用原裝進口配置;采用花崗巖臺座,穩(wěn)定可靠;
    --功能強大:擁有溫度實時補償功�;同時具有激光劃片和打標功能�
    --運行及維護成本低廉:采用半導體端面泵浦或光纖激光器;使用壽命長,性能�(wěn)�;電光轉換效率高,節(jié)約用電成�;采用風冷系�(tǒng),無須外置冷卻設備;操作簡單,無須高額培訓成��

設備參數(shù)

    --激光器系統(tǒng)�
    激光類型:半導體端面泵浦激光器/光纖激光器
    典型光斑尺寸�30μm
    實際切口取決于材�、光學器件和波長;可根據(jù)需要選�532綠激光或355紫外激光最小光斑達12μm
    泵浦源使用壽命:20,000�100�000小時
    冷卻方式:風�
    對焦方式:計算機程序控制
    --激光束定位系統(tǒng)�
    激光束運動范圍�75mmX75mm(可選配其他�(guī)格)
    點到點運動時間:5ms(典型)
    最大速度�7000mm/s
    重復定位精度�2.5μm
    激光束最小步進:0.76μm
    --圖像�(jiān)視系�(tǒng)�
    �(jiān)視方式:激光同軸監(jiān)�
    最大放大倍數(shù)�>100�
    圖像�(jiān)視顯示屏�19寸液�
    --測量系統(tǒng)�
    激勵方式:電流/電壓激�
    恒流源:0.01μA~100mA計算機程控選�
    恒壓源:0~20V計算機程控選擇(可選其它電壓范圍�
    電阻測量方式:四線制加電流測電壓
    直流電壓測量�10mV~10V(滿程電壓)
    調節(jié)對象�(fā)熱控制:程序可設�
    電阻測量精度:低阻:<0.05%+1%/R (R<100Ω�
    中阻�<0.05%
    高阻�<0.05%+0.02%R(R>0.1MΩ�
    電阻測量范圍�0.01Ω-500MΩ
    電阻測量速度�25μs
    直流電壓分辨率:0.16μV(在10mV滿量程條件下�
    探針板:44�11組四線制(可選其它規(guī)格)
    探針板運動:計算機程序控�
    --計算機及軟件系統(tǒng)�
    工業(yè)控制計算機(雙核��17寸液�
    操作系統(tǒng):Windows XP
    VB平臺開發(fā)的可視化應用軟件,界面友�,功能強�
    --分步重復運動系統(tǒng)�
    運動XY范圍�290x260mm
    運動分辨率:1μm
    定位精度:小�6μm(帶誤差補償�
    重復定位精度:小�3μm
    最大運動速度�900mm/s
    具有溫度補償?shù)裙�?BR>    --非接觸溫度測量:
    溫度測量精度�0.2�
    調阻溫度修正:計算機程序控制
    --其它技術指標:
    供電電壓�220V AC
    整機功耗:小于1000W

國內�(fā)展狀�

    2010� 三工光電�(fā)力解決了激光調阻機在研�(fā)當中遇到的各種難�,研�(fā)出具有國際先進水平的激光調阻設�,打破了國產精密電子行業(yè)依賴國外進口激光調阻設備的難題

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