薄膜電阻器是用蒸�(fā)的方法將一�電阻�材料蒸鍍�絕緣材料表面制成,具有均勻厚度薄膜電阻的量�。通常被用作評�半導�摻雜的結(jié)�。這種工藝的例子有:參雜半導體領域(比如硅或者多晶硅�,以及被絲網(wǎng)印刷到薄膜混合微電路基底上的電阻�
薄膜電阻這一概念的使用,與電阻或者電阻率相對,是它直接用四終端感應測量法(也稱為四點探針測量�)來測�� 薄膜電阻用歐�/平方來計量,可被應用于將薄膜考慮為一個二維實體的二維系統(tǒng)。它與三維系�(tǒng)下所用的電阻率的概念對等。當使用到薄膜電阻一詞的時�,電流必須沿著薄膜平面流�,而非與其垂直� 對于常規(guī)三維導體,電阻可被寫� 其中ρ代表電阻�,A代表截面面積而L代表長度。截面面積可被分解為寬度W和薄膜厚度t� 當把電阻率和厚度放到一起時,電阻可被記� Rs即為薄膜電阻。因為它被一個無量綱量所�,所以單位依然是歐姆。而歐�/平方這一單位被使用是因為它給出了以歐姆為單位的從一個平方區(qū)域流向相對平方區(qū)域的電阻,無論平方區(qū)域的大小如何。對于正方情�,L = W。因�,對任意平方大小,有R = Rs�
1、碳膜電阻器
碳膜電阻碳膜電阻(碳薄膜電阻)為最早期也最普遍使用的電阻器,利用真空噴涂技術在瓷棒上面噴涂一層碳膜,再將碳膜外層加工切割成螺旋紋狀,依照螺旋紋的多寡來定其電阻值,螺旋紋愈多時表示電阻值愈�。在外層涂上�(huán)氧樹脂密封保護而成。其阻值誤差雖然較金屬皮膜電阻�,但由于價錢便宜。碳膜電阻器仍廣泛應用在各類�(chǎn)品上,是目前電子,電�,設�,資訊產(chǎn)品之最基本零組��
2、金屬膜電阻�
金屬膜電阻金屬膜電阻(金屬拍攝電阻)同樣利用真空噴涂技術在瓷棒上面噴涂,只是將炭膜換成金屬膜(如鎳鉻) ,并在金屬膜車上螺旋紋做出不同阻�,并且于瓷棒兩端度上貴金�。雖然它較碳膜電阻器�,但低雜�,穩(wěn)�,受溫度影響�,精確度高成了它的優(yōu)�。因此被廣泛應用于音響器�,電腦,儀�,國防及太空設備等方靀�
3、金屬氧化膜電阻�
某些儀器或裝置需要長期在高溫的環(huán)境下操作,使用一般的電阻會未能保持其安定�。在這種情況下可使用金屬氧化膜電阻(金屬氧化膜電阻化物薄膜電阻器� ,它是利用高溫燃燒技術于高熱傳導的瓷棒上面燒附一層金屬氧化薄膜(用錫和錫的化合物噴制成溶�,經(jīng)噴霧送入500~500℃的恒溫�,涂覆在旋轉(zhuǎn)的陶瓷基體上而形成的。材料也可以氧化鋅等� ,并在金屬氧化薄膜車上螺旋紋做出不同阻�,然后于外層噴涂不燃性涂�。其性能與金屬膜電阻器類似,但電阻值范圍窄。它能夠在高溫下仍保持其安定�,其典型的特點是金屬氧化膜與陶瓷基體�(jié)合的更牢,電阻皮膜負載之電力亦較高。耐酸堿能力強,抗鹽霧,因而適用于在惡劣的�(huán)境下工作。它還兼?zhèn)涞碗s�,穩(wěn)定,高頻特性好的優(yōu)��
4、合成膜電阻�
將導電合成物懸浮液涂敷在基體上而得,因此也叫漆膜電��
由于其導電層呈現(xiàn)顆粒狀�(jié)�(gòu),所以其噪聲�,精度低,主要用他制造高壓, 高阻� 小型電阻��
薄膜電阻的應用廣泛,對于任意面積遠大于厚度的情形,比如薄膜物理或者半導體�(chǎn)�(yè)中,常有納米級厚度的薄膜被沉積到晶片�,如果關心這些薄膜的電阻阻值大小時,就需使用薄膜電阻這一概念。例�,在�(fā)光二極管的制造中,二極管PN�(jié)上作為電極而沉積的金屬的阻值很大程度影響了�(fā)光二極管的發(fā)光效率,因此需要最小化金屬半導體的接觸電阻,利用前面提到的四探針測量法以及傳輸線模型(Transmission Line Model)測量法,即可確定接觸電阻的大小和金屬下方半導體層的薄膜電阻阻��
薄膜電阻和厚膜電阻的區(qū)別是�
其一是膜厚的區(qū)�,厚膜電路的膜厚一般大�10μm,薄膜的膜厚小于10μm,大多處于小�1μm�
其二是制造工藝的區(qū)�,厚膜電路一般采用絲�(wǎng)印刷工藝,薄膜電路采用的是真空蒸�(fā)、磁控濺射等工藝方法�
維庫電子通,電子知識,一查百��
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