電容式傳感器是將被測(cè)非電量的變化�(zhuǎn)換成電容量的變化,通過(guò)�(cè)量電容推算出被測(cè)非電量的傳感�。它的敏感部分就是具有可變參�(shù)的電容器。其最常用的形式是由兩�(gè)平行電極組成、極間以空氣為介�(zhì)的電容器�
電容式傳感器的核心部分就是具有可變參�(shù)的電容器。若忽略邊緣效應(yīng),平板電容器的電容C=εA/δ,式中ε為極間介�(zhì)的介電常�(shù),A為兩電極互相覆蓋的有效面�,δ為兩電極之間的距�。�、A、� 三�(gè)參數(shù)中任一�(gè)的變化都將引起電容量變化,如果保持其中兩�(gè)不變,而僅僅改變其中一�(gè)參數(shù),就可以把該參數(shù)的變化轉(zhuǎn)換為電容量的變化,通過(guò)�(cè)量電路就可以�(zhuǎn)化為電量輸出�
根據(jù)�(cè)量原理不�,電容式傳感器可分為變面積型傳感�;變極距型傳感器;變介質(zhì)型傳感器。極距變化型一般用�(lái)�(cè)量微小的極距變化。面積變化型一般用于測(cè)量角位移或較大的線位�。介�(zhì)變化型常用于物位�(cè)量和各種介質(zhì)的溫�、密�、濕度的�(cè)��
可�(jìn)行非接觸�(cè)�� 功率小、阻抗高; 電容器小幾十~幾百微�,具有高輸出阻抗; 本身�(fā)熱影響小; 可動(dòng)�(zhì)量小,具有高的固有頻率�(dòng)�(tài)響應(yīng)特性好� 靜電引力?。O板間�,工作所需作用力很��
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