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MEMS麥克�(fēng)
閱讀�16650�(shí)間:2010-12-21 15:35:19

  MEMS(微型機(jī)電系�(tǒng)� 麥克�(fēng)是基于MEMS技�(shù)制造的麥克�(fēng),簡(jiǎn)單的說就是一�(gè)電容器集成在微硅晶片上,可以采用表貼工藝�(jìn)行制�,能夠承受很高�回流�溫度,容易� CMOS 工藝及其它音頻電路相集成, 并具有改�(jìn)的噪聲消除性能與良好的 RF � EMI 抑制性能.MEMS麥克�(fēng)的全部潛能還有待挖掘,但是采用這種技�(shù)的產(chǎn)品已�(jīng)在多種應(yīng)用中體現(xiàn)出了諸多�(yōu)�(shì),特別是中高端手�(jī)�(yīng)用中�

�(yōu)�(shì)

  目前,實(shí)際使用的大多�(shù)麥克�(fēng)都是ECM(駐極體電容器)麥克�(fēng),這種技�(shù)已經(jīng)有幾十年的歷史。ECM 的工作原理是利用駐有電荷的聚合材料振�(dòng)��

  與ECM的聚合材料振�(dòng)膜相比,MEMS麥克�(fēng)在不同溫度下的性能都十分穩(wěn)�,其敏感性不�(huì)受溫�、振�(dòng)、濕度和�(shí)間的影響。由于耐熱性強(qiáng),MEMS麥克�(fēng)可承�260℃的高溫回流�,而性能不會(huì)有任何變�。由于組裝前后敏感性變化很�,還可以節(jié)省制造過程中的音頻調(diào)試成��

  MEMS麥克�(fēng)需要ASIC提供的外部偏�,而ECM沒有這種偏置。有效的偏置將使MEMS麥克�(fēng)在整�(gè)操作溫度范圍�(nèi)都可保持�(wěn)定的聲學(xué)和電氣參�(shù),還支持具有不同敏感性的麥克�(fēng)�(shè)�(jì)�

  傳統(tǒng)ECM的尺寸通常比MEMS麥克�(fēng)�,并且不能�(jìn)行SMT(表面貼裝技�(shù))操�。在MEMS麥克�(fēng)的制造過程中,SMT回流焊簡(jiǎn)化了制造流�,可以省略一�(gè)目前通常以手工方式�(jìn)行的制造步��

  在ECM麥克�(fēng)�(nèi),必須添加�(jìn)行信�(hào)處理的電子元�;而在MEMS麥克�(fēng)�,只需在芯片上添加額外的專用功能即�。與ECM相比,這種額外功能的優(yōu)�(diǎn)是使麥克�(fēng)具有很高的電源抑制比,能夠有效抑制電源電壓的波動(dòng)�

  另一�(gè)�(yōu)�(diǎn)是,集成在芯片上的寬帶RF抑制功能,這一�(diǎn)不僅�(duì)手機(jī)這樣的RF�(yīng)用尤其重要,而且�(duì)所有與手機(jī)操作原理類似的設(shè)備(如助聽器)都非常重要�

  MEMS麥克�(fēng)的小型振�(dòng)膜還有另一�(gè)�(yōu)�(diǎn),直徑不�1mm的小型薄膜的重量同樣輕巧,這意味著,與ECM相比,MEMS麥克�(fēng)�(huì)�(duì)由安裝在同一PCB上的�(yáng)聲器引起的PCB 噪聲�(chǎn)生更低的振動(dòng)耦合�

主要參數(shù)

MEMS麥克風(fēng)的主要參數(shù)

�(fā)展前�

  �(duì)于大型的半導(dǎo)體制造商來說,他們具備制造該�(chǎn)品系列的核心能力。首先是MEMS �(shè)�(jì)和制造能�,其次是ASIC�(shè)�(jì)和制造能力,是大容量、低成本的封裝能�。迄今為止,音頻公司一直占�(jù)著幾乎整�(gè)MEMS麥克�(fēng)市場(chǎng),它們必須依賴半�(dǎo)體代工廠提供相關(guān)技�(shù)并與他們分享利�(rùn)。現(xiàn)�,英飛凌的�(jìn)入意味著該市�(chǎng)擁有了新的選�,并且降低了元件�(gòu)買者的�(fēng)�(xiǎn)�

  尺寸方面的限制主要來自MEMS本身。另�,由于音頻端口不能采用真空工具�(jìn)行操�,尺寸的�(jìn)一步縮小將�(huì)受到制造過程中�(biāo)�(zhǔn)自動(dòng)化貼裝工具的限制�

  ASIC中將�(huì)集成更多功能:ADC和數(shù)字輸出是�;還可利用標(biāo)�(zhǔn)組件,如�(fēng)噪信�(hào)過濾組件;專用接口和信號(hào)�(yù)處理將成為很大的�(yīng)用領(lǐng)�;RF屏蔽也會(huì)得到�(jìn)一步改�(jìn)�

  在音頻方面,MEMS麥克�(fēng)也會(huì)有很多變�。SMM310不只�20Hz~20kHz的頻率范圍內(nèi)針對(duì)人聲�(jìn)行了�(yōu)�,還有較高的聲學(xué)敏感��

  很難�(yù)�(cè)何時(shí)�(huì)出現(xiàn)帶有集成式麥克風(fēng)并能記錄美妙立體聲的單芯片攝像電�,但毫無疑問,技�(shù)正在朝著這�(gè)方向�(fā)��

維庫(kù)電子�,電子知�(shí),一查百��

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