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探針�
閱讀�5251時間�2017-01-16 10:08:58

探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行�(yè)、光電行�(yè)、集成電路以及封裝的測試� 廣泛�(yīng)用于�(fù)�、高速器件的精密電氣測量的研�(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠�,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本�

簡介


探針臺分�
探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自�,全自動
從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探針臺(超低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針�,霍爾效�(yīng)探針�,表面電阻率探針�
�(jīng)�(jì)手動�
根據(jù)客戶需求定�
chuck尺寸�4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選�
X-Y移動行程�4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選�
chuck Z軸方向升�10mm(選項)方便探針與樣品快速分�
顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)
顯微鏡移動方式:立柱�(huán)繞型、移動平臺型、龍門�(jié)�(gòu)型(可選�
探針座:�0.7um�2um�10um精度可選,磁性吸附帶磁力開關(guān)
可搭配Probe card測試
適用�(lǐng)域:晶圓�、研究所、高校等
半自動型
chuck尺寸800mm/600mm
X,Y電動移動行程200mm/150mm
chuck粗調(diào)升降9mm,微�(diào)升降16mm
可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微�
針座擺放個數(shù)6�8�
顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"
可搭配Probe card測試
適用�(lǐng)域:8�/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)�
電動�
chuck尺寸1200mm,平坦度�1u(不銹鋼或鍍金)
X,Y電動移動行程300mm x 300mm
chuck粗調(diào)升降9mm,微�(diào)升降16mm,微�(diào)精度�1u
可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微�
針座擺放個數(shù)8�12�
顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2�
材質(zhì):花崗巖臺面+不銹�
可搭配Probe card測試
適用�(lǐng)域:12寸Wafer、IC測試之產(chǎn)�
LCD半自動探針臺
�(jī)械手臂取放片
電動、鍵入坐�(biāo)尋位�
量測尺寸(mm):1800x1600�1300x1200�1200x1000
LCD手動探針�
白熾燈或者LED整面背光
TFT元件特性、Driver IC量測分析
�(jī)臺尺寸(mm):800x600�500x400�300x300
PCB量測探針臺(TDR�
高頻測試探頭GSG / GS / SG
頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ
�(jī)臺尺寸同LCD 探針�
太陽能產(chǎn)�(yè)探針臺(Solar Cell 量測系統(tǒng)�
量測軟體:
I-V /C-V Curve, Isc, Voc,
Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,
Power Convert Efficiency
采用KEITHLEY Source Meter
可加配任意品牌之太陽光模擬器

自動維護(hù)

探針測試臺x-y工作臺的分類

縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探�/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺結(jié)�(gòu)的不同可為兩大類,即:以美國EG公司為代表的平面電機(jī)型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以日本及歐洲國家生�(chǎn)的采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)�(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試�。由于x-y工作臺的�(jié)�(gòu)差別很大,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,應(yīng)區(qū)別對待�

x-y工作臺的維護(hù)與保�(yǎng)

無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺,x-y向工作臺都是其最核心的部�。有�(shù)�(jù)表明探針測試臺的故障中有半數(shù)以上是x-y工作臺的故障,而工作臺故障有許多是對其維護(hù)保養(yǎng)不當(dāng)或盲目調(diào)整造成�,所以對工作臺的維護(hù)與保�(yǎng)就顯得尤為重要。本文僅對自動探針測試臺x-y工作臺的維護(hù)與保�(yǎng)作一介紹�
2�1 平面電機(jī)x-y步�(jìn)工作臺的維護(hù)與保�(yǎng)
平面電機(jī)由定子和動子組成,它和傳�(tǒng)的步�(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開,定子是基礎(chǔ)平臺� 動子和定子間有一層氣�,動子浮于氣墊上,而可編程承片臺則安裝在動子之�。這種�(jié)�(gòu)的x-y工作�,由于動子和定子間無相對摩擦故無磨損,使用壽命長�
而定子在加工過程中生�(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計要求如分辨力等,用�(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線�,線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒距,而定子則按不同的�(xì)分控制方�,按編制好的運行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實�(xiàn)步�(jìn)運動。對定子的損傷將直接影響工作臺的步�(jìn)精度及設(shè)備使用壽�,損壞嚴(yán)重將造成�(shè)備無法使用而報廀�
由于平面電機(jī)的定子及動子是完全暴露在空氣�,所以潮濕的�(huán)境及長時期保�(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)�,另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷,而影響平面電�(jī)的步�(jìn)精度及使用壽�,對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面,然后用脫脂棉球蘸煤油清�,整個過程操作要十分地細(xì)�,不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)�。另外也可用沒有腐蝕性,不損壞定子的除銹劑除�。對于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作,清理時�(yīng)先通入大氣以便動子移動,方法是用脫脂棉蘸少許大�95%的無水乙�,輕擦定子表�,然后用專用工具撬起動子,方法同�� 輕擦動子表面,動子的表面有若干個氣�,它是定子和動子間壓縮空氣的出孔,觀察這此氣孔的放氣是否均�,否則用工具小心旋開小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔,處理完畢后�(yīng)恢復(fù)�(nèi)嵌氣孔螺母原始狀�(tài)。需要特別注意的是在未加壓縮空氣時不可強(qiáng)行拉動動�,以免造成定子及動子的損傷。平面電�(jī)�(yīng)使用在環(huán)境溫�15�25 �,相對濕度小�50%的環(huán)境中,其所需的壓縮空氣必須經(jīng)過干燥過濾處理且與環(huán)境空氣溫度差值小�5 �,氣壓為0�4±0�04MPa�
2�2 滾珠絲杠副和�(dǎo)軌結(jié)�(gòu)x-y工作臺的維護(hù)與保�(yǎng)
相對于平面電�(jī)工作臺,絲杠�(dǎo)軌結(jié)�(gòu)的工作臺�(jié)�(gòu)組成較復(fù)�,工作臺由上層(x向)及下層(y向)兩部分組�。工作臺由兩個步�(jìn)電機(jī)分別�(qū)動x、y向精密滾珠絲杠副帶動工作臺運�,導(dǎo)向部分采用精密直線滾動導(dǎo)軌。由于運動部分全部采用滾動功能部�,所以具有傳動效率高、摩擦力矩小,使用壽命長等特�。這種�(jié)�(gòu)的工作臺�(yīng)放置在溫�23±3 �,濕度≤70%,無有害氣體的環(huán)境中,滾珠絲�、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,但不可過多,值得指出的是,這種�(jié)�(gòu)的工作臺在裝配過程中,從直線�(dǎo)軌的直線�,上下層工作臺之間的垂直度以及工作臺的重�(fù)性,定位精度等都是用的儀器儀表調(diào)�,用戶一般情況不能輕易改�,一旦盲目調(diào)整后很難恢復(fù)到原來的狀�(tài),所以對需要調(diào)整的工作臺應(yīng)有生�(chǎn)廠家或經(jīng)過培�(xùn)的人員完��

高精�

目前世界出貨量的型號吸收了的工藝科技例如OTS,QPU和TTG相關(guān)技�(shù),這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計及多種測試條件提供保證�
特�1:OTS-最近的位置對正系統(tǒng)(光�(xué)目標(biāo)對準(zhǔn)�  OTS通過對照相機(jī)相對位置的測量來保證其位置的精度。這是非常引人注目的技�(shù),來源于東京精密的度量技�(shù)。OTS實現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng)�
特�2:QPU-高剛性的硅片承載臺(四方型系�(tǒng)) 為了有效的達(dá)到接觸位置的精度,硅片承載臺各部分的剛性一致是非常重要�,UF3000使用新的4軸機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置(QPU�,達(dá)到高剛�,高�(wěn)定度的接觸�

特�3:裝載部�

令客戶滿意的測試�(huán)�,可以提供從前部開始的通常�8��12”及基本檢查單元。也為自動物料輸送系�(tǒng)�(yīng)用做好了�(zhǔn)備�

特�4:TTG(一點即到)

更加方便的操�,UF3000采用在顯示屏上點一下,相關(guān)的屏幕就會切換到新的位置顯示。相�(guān)的設(shè)定十分方便。屏幕的顯示模式也可以由客戶自行定義�

維庫電子�,電子知�,一查百��

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