探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行�(yè)、光電行�(yè)、集成電路以及封裝的測試� 廣泛�(yīng)用于�(fù)�、高速器件的精密電氣測量的研�(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠�,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本�
探針臺分�
探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自�,全自動
從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探針臺(超低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針�,霍爾效�(yīng)探針�,表面電阻率探針�
�(jīng)�(jì)手動�
根據(jù)客戶需求定�
chuck尺寸�4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選�
X-Y移動行程�4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選�
chuck Z軸方向升�10mm(選項)方便探針與樣品快速分�
顯微鏡:金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡(可選)
顯微鏡移動方式:立柱�(huán)繞型、移動平臺型、龍門�(jié)�(gòu)型(可選�
探針座:�0.7um�2um�10um精度可選,磁性吸附帶磁力開關(guān)
可搭配Probe card測試
適用�(lǐng)域:晶圓�、研究所、高校等
半自動型
chuck尺寸800mm/600mm
X,Y電動移動行程200mm/150mm
chuck粗調(diào)升降9mm,微�(diào)升降16mm
可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實體顯微�
針座擺放個數(shù)6�8�
顯微鏡X-Y-Z移動范圍2"x2"x2"
可搭配Probe card測試
適用�(lǐng)域:8�/6寸Wafer、IC測試之產(chǎn)�
電動�
chuck尺寸1200mm,平坦度�1u(不銹鋼或鍍金)
X,Y電動移動行程300mm x 300mm
chuck粗調(diào)升降9mm,微�(diào)升降16mm,微�(diào)精度�1u
可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實體顯微�
針座擺放個數(shù)8�12�
顯微鏡X-Y-Z移動范圍2“x2”x2�
材質(zhì):花崗巖臺面+不銹�
可搭配Probe card測試
適用�(lǐng)域:12寸Wafer、IC測試之產(chǎn)�
LCD半自動探針臺
�(jī)械手臂取放片
電動、鍵入坐�(biāo)尋位�
量測尺寸(mm):1800x1600�1300x1200�1200x1000
LCD手動探針�
白熾燈或者LED整面背光
TFT元件特性、Driver IC量測分析
�(jī)臺尺寸(mm):800x600�500x400�300x300
PCB量測探針臺(TDR�
高頻測試探頭GSG / GS / SG
頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ
�(jī)臺尺寸同LCD 探針�
太陽能產(chǎn)�(yè)探針臺(Solar Cell 量測系統(tǒng)�
量測軟體:
I-V /C-V Curve, Isc, Voc,
Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,
Power Convert Efficiency
采用KEITHLEY Source Meter
可加配任意品牌之太陽光模擬器