微機(jī)電系�(tǒng)(Micro Electro-Me-chanical Systems�MEMS)是指可批量制作�,集微型�(jī)�(gòu)、微�傳感�、微��(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電�、直至接�、通信�電源等于一體的微型器件或系�(tǒng)。MEMS是隨著半�(dǎo)�集成電路微細(xì)加工技�(shù)和超精密�(jī)械加工技�(shù)的發(fā)展而發(fā)展起�(lái)��
微機(jī)電系�(tǒng)是微米大小的�(jī)械系�(tǒng),其中也包括不同形狀的三維平板印刷產(chǎn)生的系統(tǒng)。這些系統(tǒng)的大小一般在微米到毫米之�。在這�(gè)大小范圍中日常的物理�(jīng)�(yàn)往往不適�。比如由于微�(jī)電系�(tǒng)的面積對(duì)體積比比一般日常生活中的機(jī)械系�(tǒng)要大得多,其表面�(xiàn)象如靜電、潤(rùn)濕等比體積現(xiàn)象如慣性或熱容量等要重�。它們一般是由類(lèi)似于生產(chǎn)半導(dǎo)體的技�(shù)如表面微加工、體型微加工等技�(shù)制造的。其中包括更改的硅加工方法如壓延、電�、濕蝕刻、干蝕刻、電火花加工等等�
微機(jī)電系�(tǒng)是從微傳感器�(fā)展而來(lái)的,已有幾次突破性的�(jìn)展:
70年代微機(jī)械壓力傳感器�(chǎn)品問(wèn)�
80年代末研制出硅靜電微馬達(dá)
90年代噴墨打印�,硬�(pán)讀�(xiě)頭、硅加速度�(jì)和數(shù)字微鏡器件等相繼�(guī)?;a(chǎn)
充分展示了微系統(tǒng)技�(shù)及其微系�(tǒng)的巨大應(yīng)用前�
?、俸桶雽?dǎo)體電路相同,使用刻蝕、光刻等制造工藝,不需要組�、調(diào)�� ?、谶M(jìn)一步可以將�(jī)械可�(dòng)�、電子線路、傳感器等集成到一片硅板上� ?、鬯苌僬加玫胤?,可以在一般的�(jī)器人到不了的狹窄�(chǎng)所或條件惡劣的地方使用� ?、苡捎诠ぷ鞑考馁|(zhì)量小,高速動(dòng)作可�� ⑤由于它的尺寸很�,熱膨脹等的影響�� ?、匏a(chǎn)生的力和積蓄的能量很�,本�(zhì)上比較安��
�(jīng)�(jì)利益�
1.大批量的并行制造過(guò)程;
2.系統(tǒng)�(jí)集成�
3.封裝集成�
4.與IC工藝兼容�
技�(shù)利益�
1.高精��
2.重量輕,尺寸??�
3.高效��
4.材料�(yōu)�(shì)�
1、在噴墨打印�(jī)里作為壓電元��
2、在汽車(chē)?yán)镒鳛榧铀�?guī)�(lái)控制碰撞�(shí)安全氣囊防護(hù)系統(tǒng)的施��
3、在汽車(chē)?yán)镒鳛橥勇�?lái)�(cè)定汽�(chē)傾斜,控制動(dòng)�(tài)�(wěn)定控制系�(tǒng)�
4、在輪胎里作為壓力傳感器,在�(yī)�(xué)上測(cè)量血壓;
5、數(shù)字微鏡芯��
6、在�(jì)算機(jī)�(wǎng)�(luò)中充�(dāng)光交換系�(tǒng),這是一�(gè)與智能灰塵技�(shù)的融��
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