銆�銆�闆㈠瓙娉ㄥ叆鎶�琛撴槸鎶婃煇绋厓绱犵殑鍘熷瓙闆婚洟鎴愰洟瀛�锛屽苟浣垮叾鍦ㄥ咕鍗佽嚦骞剧櫨鍗冧紡鐨勯浕澹撲笅閫茶鍔犻��锛屽湪鐛插緱杓冮珮閫熷害鍚庡皠鍏ユ斁鍦ㄧ湡绌洪澏瀹や腑鐨勫伐浠舵潗鏂欒〃闈㈢殑涓�绋洟瀛愭潫鎶�琛�銆傛潗鏂欑稉闆㈠瓙娉ㄥ叆鍚�锛屽叾琛ㄩ潰鐨勭墿鐞嗐�佸寲瀛稿強姗熸鎬ц兘鏈冪櫦(f膩)鐢熼’钁楃殑璁婂寲,閲戝爆琛ㄥ堡鎵�鐢㈢敓鐨勬寔绾�(x霉)鑰愮（鎼嶈兘鍔涘彲浠ラ仈鍒板垵濮嬫敞鍏ユ繁搴︾殑2锝�3鍊嬫暩(sh霉)閲忕礆銆�
銆�
銆�闆㈠瓙娉ㄥ叆鏄皣闆㈠瓙婧愮敘鐢熺殑闆㈠瓙缍撳姞閫熷悗楂橀�熷皠鍚戞潗鏂欒〃闈�锛岀暥闆㈠瓙閫插叆琛ㄩ潰锛屽皣鑸囧浐楂斾腑鐨勫師瀛愮鎾�锛屽皣鍏舵摖閫插収閮�锛屽苟鍦ㄥ叾灏勭▼鍓嶅悗鍜屽伌闈㈡縺鐧�(f膩)鍑轰竴鍊嬪熬璺�銆傞�欎簺鎾為洟鍘熷瓙鍐嶈垏鍏跺畠鍘熷瓙纰版挒锛屽悗鑰呭啀绻肩簩(x霉)涓嬪幓锛屽ぇ绱勫湪10-11s鍏�锛屾潗鏂欎腑灏囧缓绔嬩竴鍊嬫湁鏁�(sh霉)鐧惧�嬮枔闅欏師瀛愬拰绌轰綅鐨勫崁(q奴)鍩燂紙濡傚湒1鎵�绀猴級銆傞�欐墍璎傜鎾炵礆鑱�(li谩n)闆栫劧涓嶈兘瀹屽叏鐞嗚В鐐轰竴鍊嬬啽閬庣▼锛屼絾缍撳父鐪嬫垚鏄竴鍊嬬啽鑳藉緢闆嗕腑鐨勫嘲銆備竴鍊嬪付鏈�100keV鑳介噺鐨勯洟瀛愰�氬父鍦ㄥ叾鑳介噺鑰楃洝骞跺仠鐣欎箣鍓�锛屽彲閫插叆鍒版暩(sh霉)鐧惧埌鏁�(sh霉)鍗冨師瀛愬堡銆傜暥鏉愭枡鍥炲京鍒板钩琛�锛屽ぇ澶氭暩(sh霉)鍘熷瓙鍥炲埌姝ｅ父鐨勯粸闄ｄ綅缃�锛岃�岀暀涓嬩竴浜涒�滃噸绲愨�濈殑绌轰綅鍜岄枔闅欏師瀛�銆傞�欎竴閬庣▼鍦ㄨ〃闈笅寤虹珛浜嗗瘜闆嗘敞鍏ュ厓绱犲苟鍏锋湁鎼嶅偡鐨勮〃灞ゃ�傞洟瀛愬拰鎼嶅偡鐨勫垎甯冨ぇ楂旂偤楂樻柉鍒嗗竷銆�
銆�銆�鏁村�嬮樆姝㈤亷绋嬬殑鏅傞枔鍍呯敤10-11s锛屼綅绉诲師瀛愮殑鍋滅暀涔熸槸鍦ㄧ浉杩戞檪闁撳収瀹屾垚鐨�锛屾墍浠ュ叏閬庣▼寰堝儚鐧�(f膩)鐢熷湪闀风磩0.1渭m鍜岀洿寰戠偤0.02渭m 鐨勫湏鏌辨潗鏂欑附鐨勫揩閫熷姞鐔辫垏娣伀銆傞洟瀛愭敞鍏ヨ檿鐞嗙殑閫欑ó蹇�熷姞鐔憋紞娣伀鑸囨柊鍘熷瓙娉ㄥ叆鏉愭枡涓浉绲愬悎锛屽叾绲愭灉鍙敘鐢熶竴浜涚崹鐗圭殑鎬ц兘銆�
銆�銆�闆㈠瓙娉ㄥ叆鐨勬繁搴︽槸闆㈠瓙鑳介噺鍜岃唱閲忎互鍙婂熀楂斿師瀛愯唱閲忕殑鍑芥暩(sh霉)銆傝兘閲忔剤楂�锛屾敞鍏ユ剤娣便�備竴鑸儏娉佷笅锛岄洟瀛愯秺杓曟椿鍩洪珨鍘熷瓙瓒婅紩锛屾敞鍏ヨ秺娣�銆�
銆�銆�涓�鏃﹀埌閬旇〃闈紝闆㈠瓙鏈韩灏辫涓拰锛屽苟鎴愮偤鏉愭枡鐨勬暣楂旈儴鍒嗭紝鎵�浠ユ敞鍏ュ堡涓嶆渻鍍忓父瑕�(gu墨)閭ｆǎ鏈夊彲鑳借劔钀芥垨鍓濋洟銆傛敞鍏ョ殑闆㈠瓙鑳藉鑸囧浐楂斿師瀛愶紝鎴栬�呭郊姝や箣闁�锛岀敋鑷宠垏鐪熺┖瀹ゅ収鐨勬畼浣欐埃楂斿寲鍚堢敓鎴愬父瑕�(gu墨)鍚堥噾鎴栧寲鍚堢墿銆�
銆�銆�鐢变簬娉ㄥ叆鏅傞珮鑳介洟瀛愭潫鎻愪緵鍙嶆噳鍚庣殑椹呭嫊鍔�锛屾晠鏈夊彲鑳藉湪娉ㄥ叆鏉愭枡涓舰鎴愬父瑕�(gu墨)鐔卞姏瀛告柟寮忎笉鑳界嵅寰楃殑浜炵┅(w臎n)鎱�(t脿i)鎴栤�滈潪骞宠 鎱�(t脿i)鈥濆寲鍚堢墿閫欏氨鍙兘浣夸竴绋厓绱犵殑娣诲姞閲忛仩閬犺秴閬庢甯哥啽婧惰В鐨勬暩(sh霉)閲�銆�
銆�銆�鐢ㄨ兘閲忕偤100keV閲忕礆鐨勯洟瀛愭潫鍏ュ皠鍒版潗鏂欎腑鍘伙紝闆㈠瓙鏉熻垏鏉愭枡涓殑鍘熷瓙鎴栧垎瀛愬皣鐧�(f膩)鐢熶竴绯诲垪鐗╃悊鐨勫拰鍖栧鐨勭浉浜掍綔鐢�锛屽叆灏勯洟瀛愰�愭几鎼嶅け鑳介噺锛屽仠鐣欏湪鏉愭枡涓�锛屽苟寮曡捣鏉愭枡琛ㄩ潰鎴愬垎銆佺祼妲嬪拰鎬ц兘鐧�(f膩)鐢熻畩鍖�锛屽緸鑰屽劒(y艒u)鍖栨潗鏂欒〃闈㈡�ц兘锛屾垨鐛插緱鏌愪簺鏂扮殑鍎�(y艒u)鐣版�ц兘銆�
銆�銆�闆㈠瓙娉ㄥ叆鎶�琛撴槸鎶婃煇绋厓绱犵殑鍘熷瓙闆婚洟鎴愰洟瀛�锛屽苟浣垮叾鍦ㄥ咕鍗佽嚦骞剧櫨鍗冧紡鐨勯浕澹撲笅閫茶鍔犻��锛屽湪鐛插緱杓冮珮閫熷害鍚庡皠鍏ユ斁鍦ㄧ湡绌洪澏瀹や腑鐨勫伐浠舵潗鏂欒〃闈㈢殑涓�绋洟瀛愭潫鎶�琛撱�傛潗鏂欑稉闆㈠瓙娉ㄥ叆鍚�锛屽叾琛ㄩ潰鐨勭墿鐞�銆佸寲瀛稿強姗熸鎬ц兘鏈冪櫦(f膩)鐢熼’钁楃殑璁婂寲銆�
銆�?銆�?锛夐洟瀛愭敞鍏ユ槸涓�鍊嬮潪骞宠 閬庣▼锛屾敞鍏ュ厓绱犱笉鍙楁摯鏁ｇ郴鏁�(sh霉)銆佸浐婧跺害鍜屽钩琛＄浉鍦栫殑闄愬埗锛岀悊璜栦笂鍙皣浠讳綍鍏冪礌娉ㄥ叆鍒颁换浣曞熀楂旀潗鏂欎腑鍘汇��
銆�?銆�?锛夋敞鍏ュ堡鑸囧熀楂斾箣闁撴矑鏈夌晫闈紝绯诲喍閲戠祼鍚堬紝鏀规�у堡鍜屽熀楂斾箣闁撶祼鍚堝挤搴﹂珮銆侀檮钁楁�уソ銆�
銆�銆�锛�3锛夐珮鑳介洟瀛愮殑寮疯灏勫叆宸ヤ欢琛ㄩ潰锛屽皫鑷村ぇ閲忛枔闅欏師瀛愩�佺┖浣嶅拰浣嶉尟鐢㈢敓锛屾晠浣胯〃闈㈠挤鍖栵紝鐤插嫗澹藉懡鎻愰珮銆�
銆�?銆�?锛夐洟瀛愭敞鍏ユ槸鍦ㄩ珮鐪熺┖鍜岃純浣庣殑宸ヨ棟婧害涓嬮�茶锛屽洜姝ゅ伐浠朵笉鐢㈢敓姘у寲鑴⒊鐝�(xi脿n)璞★紝涔熸矑鏈夋槑椤殑灏哄璁婂寲锛屾晠閬╁疁宸ヤ欢鐨勮〃闈㈣檿鐞�銆�
銆�銆�锛�1锛夊畠鏄竴绋磾鍑堢殑鐒″叕瀹崇殑琛ㄩ潰铏曠悊鎶�琛�锛�
銆�?銆�?锛夌劇闇�鐔辨縺娲�锛岀劇闇�鍦ㄩ珮婧挵(hu谩n)澧冧笅閫茶锛屽洜鑰屼笉鏈冩敼璁婂伐浠剁殑澶栧舰灏哄鍜岃〃闈㈠厜娼斿害锛�
銆�?銆�?锛夐洟瀛愭敞鍏ュ堡鐢遍洟瀛愭潫鑸囧熀楂旇〃闈㈢櫦(f膩)鐢熶竴绯诲垪鐗╃悊鍜屽寲瀛哥浉浜掍綔鐢ㄨ�屽舰鎴愮殑涓�鍊嬫柊琛ㄩ潰灞�锛屽畠鑸囧熀楂斾箣闁撲笉瀛樺湪鍓濊惤鍟忛锛�
銆�?銆�?锛夐洟瀛愭敞鍏ュ悗鐒￠渶鍐嶉�茶姗熸鍔犲伐鍜岀啽铏曠悊銆�
銆�銆�1銆侀洟瀛愭敞鍏ユ噳鐢ㄤ簬閲戝爆鏉愭枡鏀规��
銆�銆�闆㈠瓙娉ㄥ叆鎳夌敤浜庨噾灞潗鏂欐敼鎬�锛屾槸鍦ㄧ稉閬庣啽铏曠悊鎴栬〃闈㈤崓鑶滃伐钘濈殑閲戝爆鏉愭枡涓�锛屾敞鍏ヤ竴瀹氬姂閲忓拰鑳介噺鐨勯洟瀛愬埌閲戝爆鏉愭枡琛ㄩ潰锛屾敼璁婃潗鏂欒〃灞ょ殑鍖栧鎴愪唤銆佺墿鐞嗙祼妲嬪拰鐩告厠(t脿i)锛屽緸鑰屾敼璁婃潗鏂欑殑鍔涘鎬ц兘銆佸寲瀛告�ц兘鍜岀墿鐞嗘�ц兘銆傚叿楂斿湴瑾紝闆㈠瓙娉ㄥ叆鑳芥敼璁婃潗鏂欑殑鑱插銆佸厜瀛稿拰瓒呭皫鎬ц兘锛屾彁楂樻潗鏂欑殑宸ヤ綔纭害銆佽�愮（鎼嶆��銆佹姉鑵愯潟鎬у拰鎶楁哀鍖栨��锛屾渶绲傚欢闀锋潗鏂欏伐浣滃＝鍛�銆�
銆�銆�2銆侀洟瀛愭敞鍏ユ鎳夌敤浜庢懟闆滃伐钘�
銆�銆�鍦ㄥ崐灏庨珨宸ヨ棟鎶�琛撲腑锛岄洟瀛愭敞鍏ュ叿鏈夐珮绮惧害鐨勫姂閲忓潎鍕绘�у拰閲嶅京鎬�锛屽彲浠ョ嵅寰楃悊鎯崇殑鎽婚洔婵冨害鍜岄泦鎴愬害锛屼娇闆昏矾鐨勯泦鎴�銆侀�熷害銆佹垚鍝佺巼鍜屽＝鍛藉ぇ鐐烘彁楂�锛屾垚鏈強鍔熻�楅檷浣�銆傞�欎竴榛炰笉鍚屼簬鍖栧姘ｇ浉娣�绌嶏紝鍖栧姘ｇ浉娣�绌嶈鎯崇嵅寰楃悊鎯崇殑鍙冩暩(sh霉)锛屽鑶滃帤鍜屽瘑搴�锛岄渶瑕佽鏁磋ō鍌欒ō瀹氬弮鏁�(sh霉)锛屽婧害鍜屾埃娴侀�熺巼锛屾槸涓�鍊嬪京闆滈亷绋�銆備笂鍊嬩笘绱�70骞翠唬瑕佽檿鐞嗙啊鍠竴鍊嬬殑锝庡瀷閲戝爆姘у寲鐗╁崐灏庨珨鍙兘鍙渶6锝�8娆℃敞鍏ワ紝鑰岀従(xi脿n)浠ｅ祵鍏ヨ鎲跺姛鑳界殑CMOS闆嗘垚闆昏矾鍙兘闇�瑕佹敞鍏ラ仈35娆�銆�
銆�銆�鎶�琛撴噳鐢ㄩ渶瑕佸姂閲忓拰鑳介噺璺ㄨ秺骞惧�嬬瓑绱�锛屽鏁�(sh霉)娉ㄥ叆鎯呮硜鐐猴細姣忓�嬬洅瀛愮殑閭婄晫鎺ヨ繎锛屽�嬪垾宸ヨ棟鍥犺ō瑷堝樊鐣版湁鎵�璁婂寲銆傞毃钁楄兘閲忛檷浣�锛岄洟瀛愬姂閲忛�氬父涔熸渻涓嬮檷銆傚叿鍌欑稉婵熺敘鍑虹殑闆㈠瓙娉ㄥ叆鍔戦噺鏄�1016/cm2锛岀浉鐣朵簬20鍊嬪師瀛愬堡銆�
銆�銆�3銆佸湪SOI鎶�琛撲腑鐨勬噳鐢�
銆�銆�鐢变簬SOI鎶�琛擄紙Silicon-on-Insulation锛夊湪浜炲井绫砋LSI浣庡浣庡姛鑰楅浕璺拰鎶楄蓟鐓ч浕璺瓑鏂归潰鏃ョ泭鎴愮啛鐨勬噳鐢�锛屼汉鍊戝皪SOI鍒跺倷鎶�琛撻�茶浜嗗唬娉涙帰绱���
銆�銆�1966骞碬atanabe鍜孴ooi棣栧厛鍫遍亾閫氶亷O锛嬫敞鍏ュ舰鎴怱ILF琛ㄩ潰鐨凷i姘у寲鐗╀締閫茶鍣ㄤ欢闁撶殑绲曠罚闅旈洟鐨勫彲鑳芥��銆�1978骞�锛孨TT鍫遍亾鐢ㄩ�欓爡鎶�琛撶爺鍒跺嚭楂橀��銆佷綆鍔熻�楃殑CMOS閺堟尟钑╅浕璺悗锛岄�欑ó娉∣锛嬫妧琛撴垚鐐虹溇浜烘敞鐩殑鏂版妧琛�銆傚緸鑰屾敞姘ч殧闆㈡妧琛撳嵆SIMOX灏辨垚浜嗙溇澶歋OI鍒跺倷鎶�琛撲腑鏈�鏈夊墠閫旂殑澶ц(gu墨)妯￠泦鎴愰浕璺敓鐢㈡妧琛撱��1983骞达籍锛达即鎴愬姛閬嬬敤浜哠IMOX鎶�琛撳ぇ鎵圭敓鐢簡COMSBSH闆嗘垚闆昏矾锛�1986骞达籍锛达即閭勭爺鍒朵簡鎶楄蓟灏勫櫒浠�銆傞�欎竴鍒�锛屼娇寰桸TT鑱�(li谩n)鍚圗ATON鍏徃鍏卞悓闁嬬櫦(f膩)浜嗗挤娴佹哀闆㈠瓙娉ㄥ叆姗燂紙鏉熸祦閬�100mA锛�锛屼箣鍚嶦ATON鍏徃鐢熺敘浜嗕竴绯诲垪NV锛�200瓒呭挤娴佹哀闆㈠瓙娉ㄥ叆姗燂紝鍚庝締Ibis鍏徃涔熺爺鍒朵簡Ibis锛�1000瓒呭挤娴佹哀闆㈠瓙娉ㄥ叆銆傚緸姝IMOX鎶�琛撻�插叆浜嗗ぇ瑕�(gu墨)妯＄敓鐢㈠勾浠ｃ�傚埌浜嗕笂涓栫磤90骞翠唬鍚庢湡锛屼汉鍊戝湪灏峉IMOX鏉愭枡鐨勫唬娉涙噳鐢ㄩ�茶鐮旂┒鐨勫悓鏅傦紝涔熺櫦(f膩)鐝�(xi脿n)浜嗘敞姘у舰鎴愮殑SOI鏉愭枡瀛樺湪涓�浜涢洠浠ュ厠鏈嶇殑缂洪粸锛屽纭呭扯銆佺己闄�锛岄爞閮ㄧ灞ゅ拰姘у寲灞ょ殑鍘氬害涓嶅潎鍕荤瓑锛屽緸鑰屽皫鑷翠簡浜哄�戦枊濮嬭憲鐪间簬娉ㄦ矮鍜岀鐗囬嵉鍚堟妧琛撶浉绲愬悎鐨勬櫤鑳藉墲闆㈡妧琛撳嵆SMART CUT鎶�琛撶殑鐮斿埗锛屼笂涓栫磤90骞翠唬鏈湡锛孒锛嬮洟瀛愭敞鍏ユ垚浜嗘柊鐨勭啽闁�瑭遍銆傜洰鍓嶉洊鐒″皥闁�鐨凥锛嬮洟瀛愭敞鍏ユ锛屼絾闅ㄨ憲SMART CUT宸ヨ棟鏃ヨ定鎴愮啛锛屼笉涔呭皣鏈冨嚭鐝�(xi脿n)灏堥杸鐨凥锛嬮洟瀛愭敞鍏ユ銆�
銆�銆�闄や簡鍗婂皫楂旂敓鐢㈣妤�(y猫)澶�锛屽湪宸ユ帶鑷嫊鍖栫殑蹇�熺櫦(f膩)灞曚笅锛岄洟瀛愭敞鍏ユ妧琛撲篃寤ｆ硾鎳夌敤浜庨噾灞�銆侀櫠鐡枫�佺幓鐠�銆佸京鍚堢墿銆佽仛鍚堢墿銆佺う鐗╀互鍙婃鐗╃ó瀛愭敼鑹笂銆�
銆�銆�绛夐洟瀛愭敞鍏ユ妧琛撶洝绠″厠鏈嶄簡鍌崇当(t菕ng)闆㈠瓙娉ㄥ叆鎶�琛撶殑鐩村皠鎬у晱椤�锛屼絾闆㈠瓙娉ㄥ叆宸ヨ棟鏂规硶鎵�鍥烘湁鐨勬敞鍏ュ堡娣虹殑鍟忛濮嬬祩瀛樺湪锛岄�欓浕闄愬埗浜嗗畠鍦ㄥ伐妤�(y猫)涓殑寤犳硾浣跨敤銆傚洜姝わ紝娆茬嵅寰楄純鍘氱殑鏀规�у堡锛岀瓑闆㈠瓙楂斿熀闆㈠瓙娉ㄥ叆鎶�琛撳繀闋堣垏鍏朵粬閸嶈啘鎶�琛撳PVD銆丆VD鏂规硶鐩哥祼鍚�锛屽嵆寰╁悎鐨勬敞鍏ヨ垏娌夌⿳鎶�琛�銆傚京鍚堥崓鑶滄妧琛撴槸鐩墠鍦嬪収澶栫殑閲嶈鐧�(f膩)灞曡定鍕�锛屼笉灏戦嫲闆绘睜鐢熺敘鍟嗛兘鍦ㄩ棞娉�銆傞�欑ó寰╁悎閸嶈啘鎶�琛撴棦鍙湪鍚屼竴鍊嬬湡绌鸿厰楂斿収閫茶锛屼篃鍙互鍦ㄤ笉鍚岀湡绌虹郴绲�(t菕ng)涓�茶锛涙敞鍏ヨ垏娌夌⿳鏃㈠彲鍚屾檪閫茶涔熷彲浠ラ爢搴忛�茶銆�
銆�銆�鍙﹀锛岀偤浜嗗鐝�(xi脿n)绛夐洟瀛愭敞鍏ュ伐钘濋�蹭竴姝ュ鐢ㄥ寲锛屾敞鍏ヨō鍌欓渶涓嶆柗鏀归��锛屼互閬╂噳涓嶅悓鐢ㄩ�旂殑绛夐洟瀛愭敞鍏ュ伐钘濈殑闇�姹傦紝骞朵笖鏈濊憲澶氬厓鍖�銆佸ぇ闆绘祦銆侀珮闆诲銆侀珮婧�銆佸ぇ楂旂⿳鍜屽鍔熻兘鐨勬柟鍚戠櫦(f膩)灞�銆�
銆�?銆�?锛夊舰鎴愪綆娉勬紡娣虹祼锛�
銆�銆�锛�2锛変互浣庢垚鏈娇鐢∕eV娉ㄥ叆鏇夸唬澶栧欢锛屽埄鐢ㄤ綆鑳界〖闆㈠瓙鏉熸敞鍏ユ妧琛撶嵅寰楅珮璩噺娣猴綈鍨嬬祼閫茶娉ㄥ叆鐨勫垎瀛愬嫊鎱�(t脿i)鐮旂┒銆�
銆�銆�鐛插緱楂樿唱閲忕殑娣猴綈鍨嬬祼鐨勬妧琛撶敱Kyoto澶у闆㈠瓙鏉熷伐绋嬪椹楀瀹屾垚銆傞噰鐢ㄧ〖鍖栨矮鐨勭皣闆㈠瓙娉ㄥ叆鎶�琛撳舰鎴愭泛绲�銆傚皬鐨勭〖鏉熸祦鍜屽柈楂旀敞鍏ラ�茶鍒嗗瓙鍕曟厠(t脿i)妯℃摤銆傚湪闅庢锛岄�氶亷B10绨囧舰鎴愭悕瀹冲彲鏈涢伩鍏嶉檮鍔燘鍘熷瓙鐬厠(t脿i)鎻愰珮鎿存暎锛岀嵅寰楅珮璩噺娣猴綈鍨嬬祼銆�
鏇村绮惧僵瑭炴锛岃珛鐧诲叆缍韩闆诲瓙閫�
缍韩闆诲瓙閫�锛岄浕瀛愮煡璀橈紝涓�鏌ョ櫨閫�锛�
宸叉敹閷勮姊�153979鍊�
