電子能譜儀是利用光電效�(yīng)測出光電子的動能及其�(shù)量的�(guān)系從而推算出樣品表面各種元素含量的儀器。廣泛應(yīng)用于表面化學(xué)分析、分子結(jié)�(gòu)、催化劑、新材料等研究領(lǐng)��
�(dāng)一個具有足夠能量的入射電子使原子內(nèi)層電離時,該空穴立即就被另一電子通過L1→K躍遷所填充。這個躍遷多余的能量EK-EL1如使L2能級上的電子�(chǎn)生躍�,這個電子就從該原子�(fā)射出去稱為俄歇電�。這個俄歇電子的能量約等于EK-EL1-EL2。這種�(fā)射過程稱為KL1L2躍遷。此外類似的還會有KL1L1、LM1M2、MN1N1等等� 從上述過程可以看�,至少有兩個能級和三個電子參與俄歇過程,所以氫原子和氦原子不能�(chǎn)生俄歇電�。同樣孤立的鋰原子因為最外層只有一個電子,也不能產(chǎn)生俄歇電�。但是在固體中價電子是共用的,所以在各種含鋰化合物中也可以看到從鋰發(fā)生的俄歇電子�
電子能譜儀的優(yōu)點:
�1)分析速度� 能譜儀可以同時接受和檢測所有不同能量的X射線光子信號,故可在幾分鐘內(nèi)分析和確定樣品中含有的所有元素,帶鈹窗口的探測器可探測的元素范圍�11Na~92U,20世紀(jì)80年代推向市場的新型窗口材料可使能譜儀能夠分析Be以上的輕元素,探測元素的范圍�4Be~92U.
?�?)靈敏度� X射線收集立體角大。由于能譜儀中Si(Li)探頭可以放在離�(fā)射源很近的地方(10㎝左右),無需�(jīng)過晶體衍射,信號強度幾乎沒有損失,所以靈敏度高(可達(dá)104cps/nA,入射電子束單位強度所�(chǎn)生的X射線計數(shù)率)。此�,能譜儀可在低入射電子束流(10-11A)條件下工作,這有利于提高分析的空間分辨率�
?�?)譜線重�(fù)性好。由于能譜儀沒有運動部件,穩(wěn)定性好,且沒有聚焦要求,所以譜線峰值位置的重復(fù)性好且不存在失焦問題,適合于比較粗糙表面的分析工作�
電子能譜儀的缺點:
?�?)能量分辨率低,峰背比低。由于能譜儀的探頭直接對著樣�,所以由背散射電子或X射線所激�(fā)�(chǎn)生的熒光X射線信號也被同時檢測�,從而使得Si(Li)檢測器檢測到的特征譜線在強度提高的同時,背底也相應(yīng)提高,譜線的重疊�(xiàn)象嚴(yán)�。故儀器分辨不同能量特征X射線的能力變�。能譜儀的能量分辨率�130eV)比波譜儀的能量分辨率�5eV)低�
?�?)工作條件要求嚴(yán)�。Si(Li)探頭必須始終保持在液氦冷卻的低溫狀�(tài),即使是在不工作時也不能中斷,否則晶體內(nèi)Li的濃度分布狀�(tài)就會因擴(kuò)散而變�,導(dǎo)致探頭功能下降甚至完全被破壞�
1、高精度的表面化�(xué)表征�
單色化XPS 快速準(zhǔn)確地鑒別表面元素組分、化�(xué)�(tài)及微小特征分�;結(jié)合獨特的自動中和技�(shù)可對各種絕緣樣品�(jìn)行快速XPS 分析
2、高分辨的XPS 深度剖析�
小束斑XPS 配合新型離子�,通過逐層表面剝離方法(離子刻蝕),測量樣品表層元素和化合物隨深度分布的信��
3、高靈敏度XPS 化學(xué)�(tài)成像�
多達(dá)128 道的探測器快照式獲得各個掃描點的元� 成分和化�(xué)�(tài)信息� 從而獲得樣品表面高靈敏度化�(xué)�(tài)圖像,如濃度空間分布�、薄膜厚度圖�
4、能量分辨率 極限能量分辨� < 0.5 eV (電子伏特)FWHM
分析區(qū)� �30�400微米連續(xù)可調(diào)�
電子能譜儀對固體�(jìn)行化�(xué)�(jié)�(gòu)測定、元素分析、價�(tài)分析??煞治龉獭⒁?、氣樣品中除氫以外的一切元�,還可研究原子的狀�(tài)、原子周圍的狀況及分子�(jié)�(gòu)??蓱?yīng)用于催化、高分子、腐蝕冶�、半�(dǎo)體材料等部門�
維庫電子通,電子知識,一查百��
已收錄詞�162023�