PSD位置傳感�是一種能測量光點(diǎn)在探測器表面上連續(xù)位置的光�(xué)探測�。是一種新型的光電器件,或稱為坐標(biāo)�電池。它是一種非分割型器�,可將光敏面上的光點(diǎn)位置�(zhuǎn)化為電信號。PSD由P襯底、PIN 光電二極�及表�電阻組成。具有位置分辨率�,響�(yīng)速度快和處理電路簡單等優(yōu)�(diǎn)�
�(dāng)一束光落在 PSD �,相�(yīng)于光能量的電荷在入射�(diǎn)�(chǎn)�,電荷通過 P 型電阻層被電極收�。P 型層 是均勻一體的電阻�,被電極收集到的光電流與入射 �(diǎn)和電極間距成反比�
由此可得出如下公式:I1 � I2 是電極的光電�� L � I0 分別代表電極間距和總光電��
�(dāng) PSD 幾何中心�(shè)定為坐標(biāo)原點(diǎn)�
�(dāng) PSD 一端設(shè)定為坐標(biāo)原點(diǎn)�
由公式(3�,(4�,(7�,(8)顯示,不同的比率可得出相應(yīng)的與光能量無�(guān)的入射光�(diǎn)的位��
1.響應(yīng)速度�
2.光譜響應(yīng)�
3.位置分辨率高
4.不受光斑的約�
5.位置和光�(qiáng)同時測量
6.可靠性高
將二維方形PSD �(yīng)用于定位系統(tǒng)中, 模擬PSD 對準(zhǔn)物體的過�� 確定PSD 與物體之間的相對位置;其�(yīng)用系�(tǒng)框圖如圖所示;對準(zhǔn)物體1 的中心裝有一高亮度的�(fā)光二級管2, PSD傳感�4安裝于微動工作平臺上� 二極管發(fā)出的光束�(jīng)過光�(xué)系統(tǒng)3聚焦后,將光�(diǎn)成像于放置在透鏡焦平面上的PSD的接收光敏面�� 這個光�(diǎn)信號�(jīng)過前置放大電�5 �(zhuǎn)換為電信�。然�� 通過A /D采樣6, 送入到計(jì)算機(jī)7 �(jìn)行處理。從而確定PSD 對準(zhǔn)物體平面上某一�(diǎn)的位��
�(dāng)對準(zhǔn)位置在測量范圍內(nèi)移動�� 光斑與PSD 兩電極間的距離發(fā)生變�� 使兩電極輸出電流隨其光斑位置的變化而變�� 因此通過測定傳感器兩電極輸出電流的大�� 便可知道PSD 與對�(zhǔn)物體平面上的某一�(diǎn)位置相對�(yīng)�
維庫電子�,電子知�,一查百��
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