�(tái)階儀屬于接觸式表面形貌測量儀�。如下圖所示: 為一典型�(tái)階儀外觀�,包括臺(tái)階儀本體、隔振臺(tái)�打印�(jī)�電腦�。其測量原理是:�(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時(shí),由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí),還沿峰谷作上下�(yùn)�(dòng)。觸針的�(yùn)�(dòng)情況就反映了表面輪廓的情��傳感�輸出的電信號�(jīng)測量電橋后,輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的�(diào)幅信��
其測量原理是:當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時(shí),由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí),還沿峰谷作上下�(yùn)�(dòng)。觸針的�(yùn)�(dòng)情況就反映了表面輪廓的情�。傳感器輸出的電信號�(jīng)測量電橋后,輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的�(diào)幅信�。經(jīng)放大與相敏整流后,可將位移信號從�(diào)幅信號中解調(diào)出來,得到放大了的與觸針位移成正比的緩慢變化信號。再�(jīng)噪音濾波�、波度濾波器�(jìn)一步濾去調(diào)制頻率與外界干擾信號以及波度等因素對粗糙度測量的影響�
根據(jù)使用傳感器的不同,接觸式�(tái)階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3�。電感式采用電感位移傳感器作為敏感元�,測量精度高、信噪比�,但電路處理�(fù)�;壓電式的位移敏感元件為壓電晶體,其靈敏度高、結(jié)�(gòu)簡單,但傳感器低頻響�(yīng)不好、且容易漏電造成測量誤差;光電式是利用光電元件接收透過狹縫的光通量變化來檢測位移量的變��
�(tái)階儀測量精度較高、量程大、測量結(jié)果穩(wěn)定可�、重�(fù)性好,此外它還可以作為其它形貌測量技�(shù)的比�。但是也有其難以克服的缺�(diǎn)�1由于測頭與測件相接觸造成的測頭變形和磨損,使儀器在使用一段時(shí)間后測量精度下降�2測頭為了保證耐磨性和剛性而不能做得非常細(xì)小尖�,如果測頭頭部曲率半徑大于被測表面上微觀凹坑的半徑必然造成該處測量�(shù)�(jù)的偏差;3為使測頭不至于很快磨�,測頭的硬度一般都很高,因此不適于精密零件及軟�(zhì)表面的測��
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