�(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)�,該儀器按照單晶硅物理測試方法國家�(biāo)�(zhǔn)并參考美� A.S.T.M �(biāo)�(zhǔn)而設(shè)�(jì)�,專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電�(薄層電阻)的專用儀��
�(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家�(biāo)�(zhǔn)并參考美� A.S.T.M �(biāo)�(zhǔn)而設(shè)�(jì)�,專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電�(薄層電阻)的專
用儀器。儀器由主機(jī)、測試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成,測量�(shù)�(jù)既可由主�(jī)直接顯示,亦可由�(jì)算機(jī)控制測試采集測試�(shù)�(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,然后以表�,圖形方式統(tǒng)�(jì)分析顯示測試�(jié)果�
儀器采用了新電子技�(shù)�(jìn)行設(shè)�(jì)、裝�。具有功能選擇直觀、測量取�(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)�(gòu)緊湊、易操作等特�(diǎn)�
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半�(dǎo)體器件廠、科研單�、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測試�
四探針軟件測試系�(tǒng)是一�(gè)�(yùn)行在�(jì)算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序,通過此測試程序輔助使用戶簡便地�(jìn)行各�(xiàng)測試及獲得測試數(shù)�(jù)并對(duì)測試�(shù)�(jù)�(jìn)行統(tǒng)�(jì)分析�
測試程序控制四探針測試儀�(jìn)行測量并采集測試�(shù)�(jù),把采集到的�(shù)�(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分�,然后把測試�(shù)�(jù)以表�,圖形直觀地記�、顯示出�。用戶可�(duì)采集到的�(shù)�(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,還可以把采集到的數(shù)�(jù)輸出到Excel中,讓用戶對(duì)�(shù)�(jù)�(jìn)行各種數(shù)�(jù)分析
測量范圍 電阻率:10-4�105 Ω.cm(可擴(kuò)�)�
方塊電阻�10-3�106 Ω/�(可擴(kuò)�)�
電導(dǎo)率:10-5�104 s/cm�
電阻�10-4�105 Ω�
可測晶片直徑 140mmX150mm(配S-2A型測試臺(tái))�
200mmX200mm(配S-2B型測試臺(tái))�
400mmX500mm(配S-2C型測試臺(tái))�
恒流� 電流量程分為1μA�10μA�100μA�1mA�10mA�100mA六檔,各檔電流連續(xù)可調(diào)
�(shù)字電壓表 量程及表示形式:000.00�199.99mV�
分辨力:10μV�
輸入阻抗�>1000MΩ�
精度:�0.1% �
顯示:四位半紅色�(fā)光管�(shù)字顯�;極性、超量程自動(dòng)顯示�
四探針探頭基本指�(biāo) 間距�1±0.01mm�
針間絕緣電阻:≥1000MΩ�
�(jī)械游移率:≤0.3%�
探針:碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm�
探針壓力�5�16 牛頓(總力)�
四探針探頭應(yīng)用參�(shù) (見探頭附帶的合格�)
模擬電阻測量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87�(jìn)�) 0.01Ω�0.1Ω�1Ω�10Ω�100Ω�1000Ω�10000Ω�0.3%±1�
整機(jī)測量大相�(duì)誤差 (用硅�(biāo)樣片�0.01-180Ω.cm測試)≤�5%
整機(jī)測量�(biāo)�(zhǔn)不確定度 �5%
�(jì)算機(jī)通訊接口 并口
�(biāo)�(zhǔn)使用�(huán)� 溫度�23±2��
相對(duì)濕度:≤65%�
無高頻干擾;
無強(qiáng)光直��