具有兩�(或一�)光學測量平面的正圓柱形或長方形的量規(guī)。光學測量平面是表面粗糙度數(shù)值和平面度誤差都極小的玻璃平�,它能夠�(chǎn)生光波干涉條�(見激光測長技�(shù))�
具有兩個(或一個)光學測量平面的正圓柱形或長方形的量規(guī)。光學測量平面是表面粗糙度數(shù)值和平面度誤差都極小的玻璃平�,它能夠�(chǎn)生光波干涉條紋(見激光測長技�(shù)�。平晶有平面平晶和平行平晶兩種。平面平晶用于測量高光潔表面的平面度誤差,為用平面平晶檢驗量塊測量面的平面度誤差。平行平晶的兩個光學測量平面是相互平行的,用于測量兩高光潔表面的平行度誤差,例如千分尺兩測量面的平行度誤差.平晶用光學玻璃或石英玻璃制造。圓柱形平面平晶的直徑通常� 45�150毫米。其光學測量平面的平面度誤差�:1級精度的�0.03�0.05微米�2級精度的�0.1微米。常見的長方形平面平晶的有效長度一般為200毫米�
JJG28-2000
平行平晶是用于以干涉法測量塊�(guī),以及檢驗塊�(guī)、量�(guī)、零件密封面、測量儀器及� 平晶
量工具量面的研合性和平面度的 常用工具�
適用于光學加工廠、廠礦企�(yè)計量�、精密加工車�、閥門密封面現(xiàn)場檢測使用,也適用于高等院校、科學研究等單位做平面度等檢測�
1、平面平� YDF-1 標準外形尺寸 單位:mm
�(guī)�30 45 60 80 100 150 200 250
直徑30 45 60 80 100 150 200 250
高度15 15 20 20 25 30 40 45 平晶
特殊�(guī)格尺寸平面平�,�(huán)形平面平�,方形平面平晶可定�.
2、平面平晶制成兩種精度: 1� � 2�
3、平面平晶工作面的平面度偏差允許值為�
直徑� 30�60mm 1級平� 0.03μm
直徑� 30�60mm 2級平� 0.1 μm
直徑� 80�150mm 1級平� 0.05μm
直徑� 80�150mm 2級平� 0.1 μm
更大尺寸平面平晶平面度偏差允許�,根�(jù)國家標準�
4、平面平晶工作面的局部偏差允許值為� 0.03μm
5、平面平晶測量工作應(yīng)在室�2 0℃�3℃條件下保持�(shù)小時后進行�
平晶是利用光波干涉現(xiàn)象測量平面度誤差�,故其測量方法稱為平晶干涉法(圖2�,也稱技�(shù)光波干涉法。測量時,把平晶放在被測表面上,且與被測表面形成一個很小的楔角 θ,以單色光源照射時會�(chǎn)生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有�(guān)。如入射光線垂直于被測表面,且平晶與被測表面間的間隙很小,則由平晶測量面P反射的光線與被測表面反射的光線在測量� P�(fā)生干涉而出�(xiàn)明或暗的干涉條紋。若在白光下,則出現(xiàn)彩色干涉條紋。如干涉條紋平直,相互平�,且分布均�,則表示被測表面的平面度很�;如干涉條紋彎曲,則表示平面度不好。其誤差值為f= (v/ω)×(λ/2)
λ為光波波�,白光的平均波長�0.58μm,ν為干涉帶彎曲�,ω為干涉帶間距�