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熱偶真空�
閱讀�1118時間�2022-05-27 15:07:30

    利用熱電�的電勢與加熱元件的溫度有�(guān),元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來測量真空度的真空�

科技名詞定義

    中文名稱�

    熱偶真空�

    英文名稱�

    thermocouple vacuum gauge

    定義�

    利用加熱電阻絲中心的熱電偶的電動勢變化來表示壓強(qiáng)與溫度關(guān)系的真空��

    �(yīng)用學(xué)科:

    �(jī)械工程(一級學(xué)科);實(shí)�(yàn)室儀器和裝置(二級學(xué)科);真空獲得儀器與裝置-真空儀器與裝置(三級學(xué)科)


工作原理

    利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體的熱傳導(dǎo)有關(guān)的原理來測量真空度的真空��

    熱電偶接在白金或鎢的�(xì)線上。這段�(xì)線通過電流後會�(fā)熱。發(fā)出的熱量通過周圍氣體分子的熱傳導(dǎo),或細(xì)線本身的固體熱傳�(dǎo),或熱輻射放出。利用氣體分子承�(dān)的熱傳導(dǎo)量與壓力成正比的特點(diǎn)是此真空計的原理�

    如果保持�(xì)線的�(fā)熱量即保持一定的電流,則周圍壓力高的時候氣體奪走的熱量較多,致使�(xì)線的溫度較低。反過來周圍壓力低的時候細(xì)線的溫度會升高。這種溫度的變化通過熱電偶檢測出�,將熱電偶的起電力換成壓力之後即可知真空腔�(nèi)的壓��

    利用氣體分子的熱傳導(dǎo)�(xiàn)�,可能測量的壓力范圍在1~300Pa之間。熱電偶真空計測得細(xì)線溫度同�,也受到細(xì)線本身的固體熱傳�(dǎo)和熱輻射放熱的影�。因此精度不�。但是電路簡�,價格低廉�

    另外此真空計在大氣壓狀�(tài)下也不會燒損。而且測得的壓力值通過電信號被取出,因此在自動控制方面容易控��


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