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�(zhì)量流量控制器
閱讀�2797時間�2022-05-09 14:57:54

    �(zhì)�流量控制�的英文名字叫"MASS FLOW CONTROLLER"(簡稱MFC),它通常�電路��傳感�、進出氣管道接��分流�管道、機�、調(diào)節(jié)閥等部件組成�

簡介

    �(zhì)量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER�(簡稱MFC),它通常由流量傳感器、流量調(diào)節(jié)�、放大控制電路和分流器控制通道等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源提供�

用途與特點

    �(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的�(zhì)量流量進行精密測量和控�。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設(shè)備,光纖熔煉,微反應(yīng)裝置,混氣配氣系�(tǒng),毛�(xì)管測量氣象色譜儀,光�(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。冶�,制藥等。特點:精度�,重�(fù)性好�

一般類�

    �(zhì)量流量控制器一般分為以下幾種類型:

    1. 容積式流量計,又稱定排量流量計。它利用機械測量元件把流體連續(xù)不斷的分割成單個已知的體積部分,根�(jù)測量室逐次重復(fù)的充滿和排放該體積部分流體的次數(shù)來測量流體體積流��

    2. 浮子式流量計,又稱轉(zhuǎn)子流量計,是變面積式流量計的一�,在一根由下向上擴大的垂直錐管中,圓形橫截面的浮子的重力是由液體動力承受的,從而使浮子可以在錐管中自由的上升和下降�

    3. 差壓式流量計 ,是根據(jù)安裝于管道中流量檢測件產(chǎn)生的差壓,已知的流體的條件和檢測間與管道的尺寸來計算流量的儀��

    4. 渦街流量�,在流體中安放一根非流線型游渦發(fā)生體,流體在�(fā)生體兩側(cè)交替的分離釋放出兩串�(guī)則地交錯排列的游渦的儀表�

    5. 渦輪流量�,是速度式流量計中的主要種類,它采用多葉片的�(zhuǎn)子(渦輪)感受流體平均流�,從而推�(dǎo)出流量或總量的儀表�

    6. 超聲流量�,通過檢測流體流動對超聲束(或超聲脈沖)的作用以測量流量的儀��

    7. 電磁流量�,電磁流量計是根�(jù)法拉弟電磁感�(yīng)定律制成的一種測量導(dǎo)電性液體的儀表。電磁流量計有一系列特�,可以解決其它流量計不易應(yīng)用的問題,如臟污流、腐蝕流的測量�

    8. 熱式流量計,熱式流量計傳感器包含兩個傳感元�,一個速度傳感器和一個溫度傳感器。它們自動地補償和校正氣體溫度變�。儀表的電加熱部分將速度傳感器加熱到高于工況溫度的某一個定值,使速度傳感器和測量工況溫度的傳感器之間形成恒定溫差。當(dāng)保持溫差不變時,電加熱消耗的能量,也可以說熱消散�,與流過氣體的質(zhì)量流量成正比,它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測��

    科里奧利式流量計,其原理是利用流體在振管�(nèi)流動時產(chǎn)生的科氏�,以直接或間接地方法測量其力而得到流體質(zhì)量流量�


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