固態(tài)射頻電源又稱晶體管射頻電源。是相對(duì)于電子管射頻電源來說的。
固態(tài)射頻電源相對(duì)于電子管射頻電源來說具有使用壽命更長功率控制更精密功率輸出更穩(wěn)定頻率精度更高。其不會(huì)隨著使用時(shí)間的增長而像電子管射頻電源那樣出現(xiàn)輸出功率衰減的問題。
現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備，LED與太陽能光伏產(chǎn)業(yè)，科學(xué)實(shí)驗(yàn)中的等離子體發(fā)生，射頻感應(yīng)加熱，射頻醫(yī)療美容，常壓等離子體消毒清洗等。
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