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偏壓電源
閱讀�5077時間�2018-04-10 09:35:02

偏壓電源是真空電弧離子鍍及其它真空物理氣相沉積設備中一個重要組件,在鍍膜工藝流程中為工件提供負(或正)偏壓�

目錄

作用

  1)提高真空等離子體內帶電粒子的能�,轟擊清洗所鍍工件表面,使工件表面經受高能粒子撞擊后得到嶄新的表�,從而提高后�(xù)沉積膜層的結合力
  2)提高并控制真空等離子體內帶電粒子的能量,提高膜層與工件基體結合�
  3)靠不同的電壓輸出極性或方式改變沉積�(guī)�,調整膜層顏�
  4)克�偏壓電源工作于真空等離子體環(huán)境中,由高電壓引起的陰極弧光放電燒傷工件

說明

  偏壓電源工作于二級高頻變換模式,單極脈沖方式輸出。電源的電壓調整通過改變高頻變換電路的電源電壓來實現,調壓電路具�1%的穩(wěn)�。高頻變換電路產�10-90%脈沖電壓。由于電源的輸出電壓與脈沖寬度獨立調�,在滿足工藝所需電壓同時,通過改變脈沖寬度來控工件溫升。電源適用于各類工具鍍膜及裝飾鍍� �

電源功率范圍
10-80KW
輸入電源
AC380V三相四線制AC50-60HZ±10%
輸出方式
脈沖
輸出電壓
0-180V 0-500V 0-1000V
脈沖頻率
40KHZ
脈沖百分�
10-90%連續(xù)調節(jié)
輸出電壓�(wěn)定率
預前�(wěn)�,負載電�10%
冷卻方式
10-40KW風冷 40-80KW水冷
使用�(huán)�
�(huán)境溫� 0-40�
�(huán)境濕� 相對濕度�85%
空氣清潔 無粉� 無腐蝕性易燃性氣� 通風良好
冷卻�
清潔 不含礦物質及其他可溶性物�
水溫 20-30�
壓力 0.15±0.05Mpa
說明:電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整

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