日韩欧美国产极速不卡一区,国产手机视频在线观看尤物,国产亚洲欧美日韩蜜芽一区,亚洲精品国产免费,亚洲二区三区无码中文,A大片亚洲AV无码一区二区三区,日韩国语国产无码123

您好,歡迎來到維庫電子市場網(wǎng) 登錄 | 免費注冊

光刻�
閱讀�658時間�2017-04-27 10:04:01

    光刻機(Mask Aligner) 又名:掩模對準曝光機,曝光系�(tǒng),光刻系�(tǒng)�。常用的光刻機是掩膜對準光刻,所以叫 Mask Alignment System.
    一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂�、旋涂光刻膠、軟�、對準曝�、后�、顯�、硬�、刻蝕等工序�
    Photolithography(光刻) 意思是用光來制作一個圖形(工藝��
    在硅片表面勻膠,然后將掩模版上的圖形�(zhuǎn)移光刻膠上的過程將器件或電路�(jié)�(gòu)臨時“復(fù)制”到硅片上的過程�

光刻機品�

    光刻機的品牌眾多,根�(jù)采用不同技�(shù)路線的可以歸納成如下幾類�
    高端的投影式光刻機可分為步進投影和掃描投影光刻機兩種,分辨率通常在十幾納米至幾微米之�,高端光刻機號稱世界上最精密的儀�,世界上已有7000萬美金的光刻機。高端光刻機堪稱�(xiàn)代光�(xué)工業(yè)之花,其制造難度之�,全世界只有少數(shù)幾家公司能夠制�。國外品牌主要以荷蘭ASML(鏡頭來自德國),日本Nikon(intel曾經(jīng)購買過Nikon的高端光刻機)和日本Canon三大品牌為主�
    位于我國上海的SMEE已研制出具有自主知識�(chǎn)�(quán)的投影式中端光刻�,形成產(chǎn)品系列初步實�(xiàn)海內(nèi)外銷售。目前正在進行其他各系列產(chǎn)品的研發(fā)制作工作�
    生產(chǎn)線和研發(fā)用的低端光刻機為接近、接觸式光刻機,分辨率通常在數(shù)微米以上。主要有德國SUSS、美國MYCRO NXQ4006、以及中國品��

光刻機分�

  光刻機一般根�(jù)操作的簡便性分為三�,手動、半自動、全自動
  A 手動:指的是對準的調(diào)節(jié)方式,是通過手調(diào)旋鈕改變它的X�,Y軸和thita角度來完成對�,對準精度可想而知不高了;
  B 半自動:指的是對準可以通過電動軸根�(jù)CCD的進行定位�(diào)��
  C 自動� 指的� 從基板的上載下載,曝光時長和循環(huán)都是通過程序控制,自動光刻機主要是滿足工廠對于處理量的需��

紫外光源

  曝光系統(tǒng)最核心的部件之一是紫外光源�
  常見光源分為:
  可見光:g線:436nm
  紫外光(UV�,i線:365nm
  深紫外光(DUV�,KrF 準分子激光:248 nm, ArF 準分子激光:193 nm
  極紫外光(EUV��10 ~ 15 nm
  對光源系�(tǒng)的要�
  a.有適�(dāng)?shù)牟ㄩL。波長越�,可曝光的特征尺寸就�?。籟波長越短,就表示光刻的刀鋒越鋒利,刻蝕對于精度控制要求越�,因為衍射現(xiàn)象會更嚴�。]
  b.有足夠的能量。能量越�,曝光時間就越短�
  c.曝光能量必須均勻地分布在曝光區(qū)。[一般采用光的均勻度 或者叫 不均勻度 光的平行度等概念來衡量光是否均勻分布]
  常用的紫外光光源是高壓弧光燈(高壓汞燈),高壓汞燈有許多尖銳的光譜線,經(jīng)過濾光后使用其中的g 線(436 nm)或i 線(365 nm��
  對于波長更短的深紫外光光�,可以使用準分子激�。例如KrF 準分子激光(248 nm�、ArF 準分子激光(193 nm)和F2準分子激光(157 nm)等�
  曝光系統(tǒng)的功能主要有:平滑衍射效�(yīng)、實�(xiàn)均勻照明、濾光和冷光處理、實�(xiàn)強光照明和光強調(diào)節(jié)等�

光刻機對準系�(tǒng)

  制造高精度的對準系�(tǒng)需要具有近乎完美的精密機械工藝,這也是國�(chǎn)光刻機望其項背的技�(shù)難點之一,許多美國德國品牌光刻機具有特殊專利的機械工藝設(shè)�。例如Mycro N&Q光刻機采用的全氣動軸承設(shè)計專利技�(shù),有效避免軸承機械摩擦所帶來的工藝誤��
  對準系統(tǒng)另外一個技�(shù)難題就是對準顯微�。為了增強顯微鏡的視�,許多高端的光刻�,采用了LED照明�
  對準系統(tǒng)共有兩套,具備調(diào)焦功能。主要就是由雙目雙視場對準顯微鏡主體、目鏡和物鏡�1對(光刻機通常會提供不同放大倍率的目鏡和物鏡供用戶組合使用)�
  CCD對準系統(tǒng)作用是將掩模和樣片的對準標記放大并成像于�(jiān)視器��
  工件臺顧名思義就是放工件的平臺,光刻工藝最主要的工件就是掩模和基片�
  工件臺為光刻機的一個關(guān)�,由掩模樣片整體運動臺(XY�、掩模樣片相對運動臺(XY�、轉(zhuǎn)動臺、樣片調(diào)平機�(gòu)、樣片調(diào)焦機�(gòu)、承片臺、掩模夾、抽拉掩模臺組成�
  其中,樣片調(diào)平機�(gòu)包括球座和半�。調(diào)平過程中首先對球座和半球通上壓力空氣,再通過�(diào)焦手輪,使球�、半球、樣片向上運�,使樣片與掩模相靠而找平樣�,然后對二位三通電磁閥將球座和半球切換為真空進行鎖緊而保持調(diào)平狀�(tài)�
  樣片�(diào)焦機�(gòu)由調(diào)焦手�、杠桿機�(gòu)和上升直線導(dǎo)軌等組成,調(diào)平上升過程初步調(diào)�,調(diào)平完成鎖緊球氣浮�,樣片和掩模之間會產(chǎn)生一定的間隙,因此必須進行微調(diào)焦。另一方面,調(diào)平完成進行對準,必須分離一定的對準間隙,也需要進行微調(diào)��
  抽拉掩模臺主要用于快速上下片,由燕尾�(dǎo)�、定位擋塊和鎖緊手輪組成�
  承片臺和掩模夾是根據(jù)不同的樣片和掩模尺寸而進行�(shè)計的�

光刻機性能指標

  光刻機的主要性能指標有:支持基片的尺寸范�,分辨率、對準精�、曝光方�、光源波�、光強均勻性、生�(chǎn)效率��
  分辨率是對光刻工藝加工可以達到的最細線條精度的一種描述方�。光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以與光源、光刻系�(tǒng)、光刻膠和工藝等各方面的限制�
  對準精度是在多層曝光時層間圖案的定位精度�
  曝光方式分為接觸接近�、投影式和直寫式�
  曝光光源波長分為紫外、深紫外和極紫外區(qū)�,光源有汞燈,準分子激光器��

光刻機種�

  
  a.接觸式曝光(Contact Printing):掩膜板直接與光刻膠層接觸。曝光出來的圖形與掩膜板上的圖形分辨率相�(dāng),設(shè)備簡單。接觸式,根�(jù)施加力量的方式不同又分為:軟接觸,硬接觸和真空接��
  1.軟接� 就是把基片通過托盤吸附?。愃朴趧蚰z機的基片放置方式�,掩膜蓋在基片上面;
  2.硬接� 是將基片通過一個氣壓(氮氣�,往上頂,使之與掩膜接觸�
  3.真空接觸 是在掩膜和基片中間抽�,使之更加好的貼合(想一想把被子抽真空放置的方式�
  �<�<真空 接觸的越緊密,分辨率越高,當(dāng)然接觸的越緊�,掩膜和材料的損傷就越大�
  缺點:光刻膠污染掩膜�;掩膜板的磨損,容易損壞,壽命很低(只能使�5�25次);容易累積缺陷;上個世紀七十年代的工�(yè)水準,已�(jīng)逐漸被接近式曝光方式所淘汰了,國產(chǎn)光刻機均為接觸式曝光,國�(chǎn)光刻機的開發(fā)機構(gòu)無法提供工藝要求更高的非接觸式曝光的�(chǎn)品化�
  b.接近式曝光(Proximity Printing�:掩膜板與光刻膠基底層保留一個微小的縫隙(Gap�,Gap大約�0�200μm??梢杂行П苊馀c光刻膠直接接觸而引起的掩膜板損�,使掩膜和光刻膠基底能耐久使用;掩模壽命長(可提高10 倍以上),圖形缺陷少。接近式在現(xiàn)代光刻工藝中�(yīng)用最為廣泛�
  c.投影式曝光(Projection Printing�:在掩膜板與光刻膠之間使用光學(xué)系統(tǒng)聚集光實�(xiàn)曝光。一般掩膜板的尺寸會以需要轉(zhuǎn)移圖形的4倍制�。優(yōu)點:提高了分辨率;掩膜板的制作更加容�;掩膜板上的缺陷影響減小�
  投影式曝光分類:
  掃描投影曝光(Scanning Project Printing��70年代末~80年代�,�1μm工藝;掩膜板1�1,全尺寸�
  步進重�(fù)投影曝光(Stepping-repeating Project Printing或稱作Stepper��80年代末~90年代�0.35μm(I line)~0.25μm(DUV�。掩膜板縮小比例�4�1),曝光區(qū)域(Exposure Field�22×22mm(一次曝光所能覆蓋的區(qū)域)。增加了棱鏡系統(tǒng)的制作難度�
  掃描步進投影曝光(Scanning-Stepping Project Printing��90年代末~至今,用于≤0.18μm工藝。采�6英寸的掩膜板按照4�1的比例曝�,曝光區(qū)域(Exposure Field�26×33mm。優(yōu)點:增大了每次曝光的視場;提供硅片表面不平整的補償;提高整個硅片的尺寸均勻�。但�,同時因為需要反向運動,增加了機械系�(tǒng)的精度要��

維庫電子�,電子知識,一查百��

已收錄詞�161633