激光功率計是用來測試連續(xù)激光的功率或者脈沖激光在某一段時間的平均功率的儀��
常用到激光能量計,用來探測重復脈沖激光的單發(fā)能量和單脈沖激光的能量。Ophir 的熱電堆型激光功率計通過熱電堆結(jié)�(gòu)將光能轉(zhuǎn)換成熱量,再�(zhuǎn)換為電信號輸�,通過校準來精確測量激光功率的大小。激光功率計一般由探頭和顯示設備組�,激光功率計探頭按照不同的原理和材料分為熱電堆型(thermal�、光電二極管型(PD:Photodiode�、以及包含兩種傳感器的綜合探頭(RP),激光能量計則有熱釋電傳感器(PE:Pyroelectric)和熱電堆(Thermal)傳感器探頭�
典型的生�(chǎn)廠商有加拿大Gentec-EO和以色列Ophir, 其中Ophir功率和能量探頭有一百多�� 探頭選擇取決于測量的類型及待測激光的參數(shù),比如激光連續(xù)or 脈沖?激光功率or 能量范圍?光束口�?波長(范圍)。沒有一款探頭能適應所有的激光測試條�。主要有顯示設備用來顯示測量�(jié)果,有不同功能的表頭,或電腦連接�。光電二極管激光能量傳感器的靈敏度較高,能探測的最小能量達�10Pj, 熱釋電激光能量傳感器一般有金屬型和損傷閾值較高的BF�。由于種類較�,一般可以通過廠商提供的篩選選軟件來選擇使用合適的探頭�
熱電堆型激光功率計表面吸收材料種類較多,對應不同的吸收光譜和不同的功率密度損傷閾�。典型的�
表面吸收�(jié)�(gòu)探頭�
-BB寬光譜吸收材�,此寬光譜吸收材料的鍍層損傷域值可�20KW/cm;吸收率大約90%,從紫外到紅外的曲線平滑;
-EX (Excimer lasers) 準分子激光專用吸收材�,對于紫外光有高吸收率,可以承受高能量或高平均功率的準分子激�,同時對10.6um和其他波長也有很好的響應�-EX平均功率強度�2KW/cm�
-LP長脈沖吸收材�,對于豪秒量級長脈沖或是連續(xù)波激光有很高的損傷域�,在1064nm�10.6μm處做過校��-LP平均功率強度�10KW/cm, -LP1平均功率強度�20KW/cm�
體吸收結(jié)�(gòu)探頭�
-P短脈沖式吸收材料,應用于短脈沖激光的探頭,平均功率強�50W/cm。對于脈沖激光,吸收材料表面有大�95%吸收率的特殊的ND吸收玻璃�
-HE/-HE1高能量脈沖激光吸收材料,-HE平均功率強度500W/cm。對于短脈沖/高平均功率激光都有高的損傷域��
-HL高能量長脈沖吸收材料,用于脈寬大�2ms的高能量,高平均功率的激�
-PF/-SV 作為-P探頭的擴�,能承受更高的平均功率和平均功率密度�-PF�3KW/cm),-SV�60KW/cm��