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玻璃基板
閱讀�16898時間�2011-06-22 12:45:36

  玻璃基板是一種表面極其平整的浮法生產(chǎn)薄玻璃片,經(jīng)光刻加工后制成透明�(dǎo)電圖�。它是構(gòu)成液�顯示�件的一個基本部�,是平板顯示�(chǎn)�(yè)的關(guān)鍵基�(chǔ)材料之一�

�(jié)�(gòu)

  玻璃基板由CF和TFT兩部分組�,如圖:

玻璃基板的結(jié)構(gòu)

 

具體制作流程

  一、TFT陣列式基板形成階�

  TFT array之制程主要清�,成膜,而后黃光制板,后再�(jīng)蝕刻制程形成所要的圖樣,然后依光罩數(shù)而作 循環(huán)制程,在這循�(huán)制程中要先將洗凈的玻璃基板送進濺鍍機臺鍍上一層金屬后,再用黃光及蝕刻制程形成閘�,區(qū)域圖�,隋后玻璃基板�(jīng)光阻剝離洗凈,再以薄膜區(qū)電漿輔助化學(xué)相沉積機臺形成用作主動區(qū)�,�(jīng)過一系列的協(xié)�.后以薄膜區(qū)化學(xué)氣相沉積楊臺上形成TFT區(qū)域保護層,挖出接角也洞,再濺鍍上一層氧化錮錫膜(ITO),再用黃光及蝕刻區(qū)制程形成畫素區(qū)域圖樣而在這循�(huán)制程中以后通TFT蝕刻制程為主要步�.

  TFT的結(jié)�(gòu)依閘,�,汲極沉積的先后順�,大致可分為四�,如圖,目前正在�(chǎn)量TFT多是以反�(zhuǎn)堆疊式結(jié)�(gòu)為主,而因它構(gòu)造簡單及制程容易則廣泛被TFT制造業(yè)者所采用,又由於制程有差異分為:1)后通道蝕刻TFT,2)后通護TFT或再稱為三層�(jié)�(gòu)TFT.TFT的制作流程關(guān)鍵步驟是蝕刻后通道端的N型非晶矽.以形成閘極可控制的通道,這一般是干蝕刻法,而造成漏電流的原因可能后通道在作干鹿記得時容易造成物摶殘留.

四種常見的TFT結(jié)構(gòu)示意圖

  �、TFT-LCD之形成階�

  在TFT-LCD玻璃完成所有制程后,再配合上另一擤具有紅,�,藍彩色濾光膜的玻�,先配向膜�,配向處理,間隔物的涂布及上框膠之后再進行兩片玻璃上下封組,切割裂片磨邊�(dǎo)�,清洗,再進行液晶注入及封�,再目檢及電測,其中最重要的步驟如�:

  1、配向處�

  目前所采用的配全處理方法是刷磨處理,主要是以卷在金屬滾軸的絨布刷磨燒制后的配向膜,使液晶分子能�(yù)先朝一定方向的方法.

  2、間隔物的灑�

  目的是為了獲得均勻的液晶厚度,它分散的密度高的話可以得到較均勻的CELL GAP,若間隔物有漏光時會降低品�(zhì),反之,間隔物分散度越低時便無法得均勻的CELL GAP,也會影響品質(zhì).因此適量均勻的間隔物灑布非常重要,目前以灑式散布法較容易控制密�, 要先做好灑上間隔�,固上框膠后才可以進行CF及TFT的封準組�.

  3、面板切�

  以TFT與CF的封準組合再以超硬質(zhì)鋼刀滾輪切割再壓裂的方式得到每一片面�.

  以后隋著外型,大小及模組外型的狹框�,薄型化的�(fā)�,以超硬質(zhì)鋼刀無法潢足要求,以后以雷射切割的方式.

  4、液晶注�

  I將玻璃在機臺上用外框固定�,用直下式的方法注入液晶注入液晶時,�(yīng)注意避免造成spacer  broken及spacer聚集.)

  II先讓CELL�(nèi)部真空化�,將CELL的液晶注放口浸入液晶槽中,再以氮氣 作破真空的動�,�(nèi)外壓力差與毛細現(xiàn)會使液晶注入CELL�(nèi)�

  �(dāng)液晶注入時的形狀及排列方�

  Spacer  broken:是注入液晶時,液晶顆粒�,兩片玻璃壓合時產(chǎn)生破�.

  Spacer聚集:注入液晶�,液晶有大顆的也有小顆,由於液晶太小在中槽中會滾�,幾顆碰到一起就形成了Spacer聚集.

  5、目檢及電測

  液晶CELL工程主要的檢查是液晶注入后的配向檢查,初期點燈檢查與最終檢查而這些檢查都是以目視進行.

  �、LCD模組形成階段

  模組制程包括戲動晶片玻璃基板的連接,可燒式印刷電�,壓著,封膠,機殼與背光源組裝及檢�.

�(fā)展趨�

  1、高解析�

  2、高亮度

  3、廣視角

  4、低耗電�

  5、低制造成�

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