真空傳感器是察覺(jué)吸著�(shí)的真空壓�,以�(shù)值表示真空度� 在設(shè)定了的真空度�(shí)�(fā)出輸出(電氣信號(hào))的元件。是工業(yè)�(shí)踐中常用的一種壓力傳感器,其廣泛�(yīng)用于各種工業(yè)自控�(huán)�,涉及石油管�、水利水電、鐵路交�、智能建�、生�(chǎn)自控、航空航天、軍�、石化、油�、電�、船舶、機(jī)床、通風(fēng)管道等眾多行�(yè)。具有原理簡(jiǎn)單可行、受�(huán)境影響小、加工工藝成熟簡(jiǎn)單易于集成等特點(diǎn),應(yīng)用前景廣闊�
真空傳感器由玻璃襯底、下電極、絕緣層、硅膜片� 上電極) 、上層密封用的玻璃組�� 其中下電極濺射在玻璃襯底�� 電極上生�(zhǎng)一絕緣層; 硅膜是利用硅片的雙面光刻、擴(kuò)散和各向異性腐蝕技�(shù)形成的。該電容式真空傳感器有兩�(gè)腔體� 其中上面的腔體是一�(gè)真空腔, 下面的腔體是鍵合形成的, 這�(gè)腔體不是密封�� 腔內(nèi)氣體與外界氣體相通。電容器的兩平板間的距離可由硅片腐蝕的深度控�� 硅膜片與玻璃電極之間的間隙很�� 這也是硅電容式傳感器靈敏度高的原��
真空度是指低于大氣壓力的氣體的稀薄程�,通常以壓力來(lái)表示真空�,壓力高意味著真空度�,壓力低意味著真空度高。由于真空傳感器上面的腔體是真空腔體,在大氣壓力�,作為傳感器敏感元件的硅膜片在壓力的作用下會(huì)向上鼓起。當(dāng)真空傳感器下面腔體內(nèi)的真空度不同�(shí),硅膜片向上鼓起的程度就不同,硅膜片向上鼓起使得電容兩極板之間的距離�(fā)生變�,根�(jù)平板電容的公式可知電容也隨之�(fā)生化,真空度與電容值是�(duì)�(yīng)�,電容值隨著真空度的變化而變化。由于電容值與真空度的�(guān)�,電容值的變化通過(guò)�(cè)量電路轉(zhuǎn)換為電壓或頻率信�(hào),檢�(cè)電壓或頻率信�(hào)可以得到�(duì)�(yīng)的真空度�
1. �(cè)量范� 1×10-4�1000Torr�1×10-4�1333mbar�1×10-2Pa�133kPa
2. 解析� 1×10-4 Torr�1×10-4 mbar�1×10-2Pa
3. 工作溫度 0�50�
4. 烘烤溫度 150℃(僅限于表,電子元件移除)
5. 工作濕度 0�95%RH,非冷凝
6. 安裝方向 水平(建議)
7. 接液材質(zhì) 鍍金��304 �316 不銹鋼,玻璃,鎳,特氟龍
8. �(nèi)部容� 26cm3�1.589in3�
9. �(nèi)部表面面� 59.7cm2�9.25in2�
10.泄漏� �1×10-9atm cc/sec He
11.重量 85g�3oz�
真空傳感器其特征在于�(shè)有硅尖陣列發(fā)射陰�、金屬陽(yáng)極、玻璃襯�、發(fā)射腔體和電極引線,金屬陽(yáng)極濺射在玻璃襯底�,硅尖陣列發(fā)射陰極刻蝕在硅片�,刻蝕有硅尖陣列�(fā)射陰極的硅片與濺射有金屬�(yáng)極的玻璃襯底鍵合在一起形成發(fā)射腔��1�(duì)電極引線分別接硅尖陣列發(fā)射陰極和金屬�(yáng)極,電極引線分別由硅片和�(yáng)極金屬引出外接穩(wěn)壓電��
維庫(kù)電子�,電子知�(shí),一查百��
已收錄詞�160444�(gè)