電感�(cè)微儀是利用電感原理測(cè)量工件尺寸微小變化的儀器,由數(shù)顯電箱和電感�(cè)頭兩部分組成,配上相�(yīng)的測(cè)量裝置(�(cè)量臺(tái)�、專(zhuān)用側(cè)頭),能夠完成各種精密測(cè)量。常用的電感�(cè)微儀有指針式和數(shù)字式兩種�
其主要的技�(shù)指標(biāo)如下�
?�?)測(cè)量范圍:0~±30μm檔及0~±500μm��
�2)示值誤差:0~�30μm檔為0.1μm�0~±500μm檔為1μm�
�3)分辨率�0~±30μm檔為0.01μm�0~±500m檔為0.1μm.
�4)極性:�(dāng)�(cè)量值為�(fù)�(shí),自�(dòng)顯示�-”;為正�(shí),無(wú)極性符�(hào)�
電感�(cè)微儀可用于檢查工件的厚度、內(nèi)�、外徑、橢圓度、平行度、直線度、徑向跳�(dòng)�,被廣泛�(yīng)用于精密�(jī)械制造業(yè)、晶體管和集成電路制造業(yè)以及�(guó)�、科�、計(jì)量部門(mén)的精密長(zhǎng)度測(cè)��
電感�(cè)微儀的硬件電路主要包括電感式傳感器、正弦波振蕩�、放大器、相敏檢波器及單片機(jī)系統(tǒng)。正弦波振蕩器為電感式傳感器和相敏檢波器提供了頻率和幅值穩(wěn)定的激�(lì)電壓,正弦波振蕩器輸出的信號(hào)加到�(cè)量頭中由線圈和電位器組成的電感橋路上。工件的微小位移�(jīng)電感式傳感器的測(cè)頭帶�(dòng)兩線圈內(nèi)銜鐵移動(dòng),使兩線圈內(nèi)的電感量�(fā)生相�(duì)的變�。當(dāng)銜鐵處于兩線圈的中間位置�(shí),兩線圈的電感量相等,電橋平衡。當(dāng)�(cè)頭帶�(dòng)銜鐵上下移動(dòng)�(shí),若上線圈的電感量增�,下線圈的電感量則減�;若上線圈的電感量減�,下線圈的電感量則增�。交流阻抗相�(yīng)地變�,電橋失去平衡從而輸出了一�(gè)幅值與位移成正比,頻率與振蕩器頻率相同,相位與位移方向相對(duì)�(yīng)的調(diào)制信�(hào)。此信號(hào)�(jīng)放大,由相敏檢波器鑒出極�,得到一�(gè)與銜鐵位移相�(duì)�(yīng)的直流電壓信�(hào),經(jīng)A/D�(zhuǎn)換器輸入到單片機(jī),經(jīng)�(guò)�(shù)�(jù)處理�(jìn)行顯�、傳�、超差報(bào)�、統(tǒng)�(jì)分析��