石英晶體膜厚控制儀具有先�(jìn)的電子學(xué),具有精確的�(guò)程控�,尤其用于低淀積率,在10讀值/秒時(shí)的分辨率為�0.03Hz,在0�50°C溫度范圍�(nèi)的頻率穩(wěn)定性為±2ppm。用單傳感器或多傳感器監(jiān)�(cè)源材�,提供精確的源分布監(jiān)�(cè)�
1、標(biāo)�(zhǔn)RS-232和USB(有以太�(wǎng)選件��
2、貯存容量高�100�(gè)工藝�(guò)��1�000�(gè)膜層�50�(gè)膜系�
3、用單傳感器或多傳感器監(jiān)�(cè)源材�,提供精確的源分布監(jiān)�(cè)�
4、高亮度,VGA活性點(diǎn)陣彩色LCD顯示器–可顯示英文或中��
5、易�(shè)置和操作,有“快速設(shè)置”菜單,6�(gè)上下�-敏感的按�,和方便的參�(shù)�(shè)定旋鈕�
6、Window程序用于�(kāi)�(fā),測(cè)�,和下載工藝�(guò)程,和將儀器數(shù)�(jù)記錄至您的PC�,用于過(guò)程分析與�(zhì)量控制�
7、精確的�(guò)程控�,尤其用于低淀積率,在10讀值/秒時(shí)的分辨率為�0.03Hz,在0�50°C溫度范圍�(nèi)的頻率穩(wěn)定性為±2ppm�
� 頻率分辨率:�6.0 MHz�(shí)0.03 Hz
� �(zhì)量分辨率�0.375 ng/cm2
� 感應(yīng)晶片頻率�2.5, 3, 5, 6, 9.5, 10 MHz
� 膜厚顯示�0.000~ 999.9 K&Aring�
� 成膜速率�00.0�999 Ang/sec (0�9.99μm/min)
� 膜層�(shù)量:1�999
� 圖形顯示�256×64 LCD ,CCFL背景照明
� 全套配置
� MDC360C主機(jī) 一�(tái)、振蕩器及電纜線 一�、探� 一�(gè)、晶� 5�
� 主機(jī)尺寸�16.98×3.47×9.355(單位:英�)、前面板寬度18.98英寸
石英晶體膜厚控制儀適用于控制多�、多坩堝、多材料或多�(guò)程系�(tǒng)的膜層沉積速率和膜�。石英晶體膜厚控制儀可滿足即使最�(fù)雜、要求與特殊�(yīng)用的需�。它擅長(zhǎng)于過(guò)程控�、邏輯功�、程序和膜層�(chǔ)存容量、過(guò)程數(shù)�(jù)管理,尤其是沉積速率與膜厚的控制�