多通道石英晶體�(jiān)測儀采用了RS-232接口和Windows?窗口軟件,可以通過電腦上進行�(diào)試安�。在大型系統(tǒng)�,傳感器輸入可以分配給不同材料,采集的數(shù)�(jù)通過平均值,以達到更精確的沉積控�;也可以�(shè)定為雙探頭模�。在高沉積速率過程�,為了延長傳感器的使用壽�,速率采集模式允許探頭帶一個檔板。用戶可以自己選�0.1?/s 還是0.01?/s的速率顯示模式.另外,還可以選擇頻率或質(zhì)量顯示模式。SQM160的四路繼電輸出可以用來控制沉積源、探頭檔板、信號時�、膜厚設(shè)定值以及晶片失效信號等�
1、RS-232 接口, USB 或以太網(wǎng)可選
2、雙通道(標(biāo)�(zhǔn)型),四通道可選
3、高精度: 0.03Hz at 10個讀�(shù)/s
4、沉積速率/膜層厚度模擬輸出
QCM傳感器輸入:�(biāo)�(zhǔn)�: 2;� 可選: 4�
頻率范圍 �1-10 MHz
頻率分辨率:�(biāo)�(zhǔn)�: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec� 可選: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec
頻率�(wěn)定性:� 0? to 50?C,總計� 2 ppm
可選擇的測量周期�0.10 to 2 sec (每級增量0.05 sec)
測量選擇 �1 to 20 readings
存儲膜系�99
模擬輸出�2�0 to 10 VDC輸出, 沉積速率 & 膜厚
�(shù)字輸�/輸出� 2 路數(shù)字輸�, 4路繼電輸�
�(shù)字接口:�(biāo)�(zhǔn)�: RS-232 � 可選: USB or 以太�(wǎng)
電源�0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W
CE �(biāo)識:Class 1 equipment� 73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD
安裝支架� 1/2-rack cabinet, 3-1/2" high, 89 x 213 x 197mm (3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4")
重量� 2.7 Kg (6 lbs)
Windows軟件(included):提供遠程安裝和操作指導(dǎo),數(shù)�(jù)錄入功能
開啟速率和膜厚測�,只需先按住Zero鍵以清除上次讀�(shù),然后關(guān)�,打開源和傳感器檔板。寬大明亮的LED顯示器可以同時顯示膜層厚度和沉積速率,即使操作人員離�(jiān)測儀一定距離也仍然清晰可見。當(dāng)達到�(yù)�(shè)膜厚或者鍍膜時間到�,檔板就會自動關(guān)閉,同時前面板報警器開始亮燈。在鍍膜過程�,操作員可以在任意時間通過Xtal Life鍵來查看晶片的剩余使用壽�。雙菜單可以對監(jiān)測儀�99個存儲膜系進行�(shè)置。首�,選“program”鍵,進入菜單,然�,旋�(zhuǎn)撥針�,這樣就可以選擇或者編輯參�(shù)�。主顯示界面顯示菜單提示,而設(shè)定的�(shù)�(jù)可以在輔助界面中找到�
維庫電子�,電子知�,一查百��
已收錄詞�160410�