氧化�半導(dǎo)�是一類具有半�(dǎo)體特性的氧化�。它的電�(xué)性質(zhì)與環(huán)境氣氛有�(guān)。氧化物半導(dǎo)體有以下幾種分類:導(dǎo)電率隨氧化氣氛而增加稱為氧化型半導(dǎo)�,是p型半�(dǎo)體;電導(dǎo)率隨還原氣氛而增加稱為還原型半導(dǎo)�,是n型半�(dǎo)�;導(dǎo)電類型隨氣氛中氧分壓的大小而成p型或n型半�(dǎo)體稱為兩性半�(dǎo)��
氧化物半�(dǎo)體是由金屬與氧形成的化合物半�(dǎo)體材�。它與元素半�(dǎo)體材料相�,結(jié)�(gòu)上多為離子晶�,禁帶寬度一般都較大,遷移率較小,化�(xué)性質(zhì)也比較復(fù)�,可因化�(xué)計量比的微小偏差,在晶體中造成施主和受�,而這種化學(xué)計量比的偏差對氣氛和溫度是敏感的�
氧化物半�(dǎo)體材料的平衡組成因氧的壓力改變而改�,氧原子濃度決定其導(dǎo)電的類型。由于金屬和氧之間的負電性差別較�,化�(xué)鍵離子性成分較�,破壞這樣一個離子鍵要比共價鍵容�,使它含有的點缺陷濃度較大,所以化�(xué)計量比偏離對材料的電�(xué)性質(zhì)影響也大。如化學(xué)計量比偏離缺氧時(或金屬過剩時),則此氧化物半導(dǎo)體材料即呈現(xiàn)n型,此時氧空位或間隙金屬離子形成施主能級而提供電�,屬于此類半�(dǎo)體材料的有ZnO、CdO、TiO2、Al2O3、SnO:等。例如:ZnO化學(xué)計量比偏離缺氧時:與上相反則呈p型半�(dǎo)體,此時金屬空位將形成能級而提供空�,屬于此類半�(dǎo)體材料的有:C u2O、NiO 、CoO、FeO、Cr2O3。等。例如:Ni()化學(xué)計量比偏離多氧時� 由此可見,氧化物半導(dǎo)體材料的�(dǎo)電類型受周圍氣氛(氧化性氣體或還原性氣�)而明顯改�,利用這種特性使用氧化物半導(dǎo)體材料來制備氣敏半導(dǎo)體器��
1、透明率高
2、帶隙大
3、載流子遷移率高
4、特性不均現(xiàn)象少
5、材料和工藝成本降低
6、工藝溫度低
7、可利用涂布工藝
氧化物半�(dǎo)體廣泛的�(yīng)用于超高清液晶顯示器、有機EL顯示器、電子紙、柔性顯示器、柔性IC、透明顯示�、透明IC、透明太陽能電�、透明LED等產(chǎn)品中�
非單晶氧化物可用純金屬高溫下直接氧化或通過低溫化學(xué)反應(yīng)(如金屬氯化物與水的復(fù)分解反應(yīng))來制�。氧化物單晶的制備有焰熔�、熔體生長法和氣相反�(yīng)生長�。氧化物半導(dǎo)體znO、CdO、SnO2等常用于制造氣敏元�,F(xiàn)e2O3、Cr2O3、Al2O3等常用于制造濕敏元件;SnO2膜用于制做透明電極��
作為“新一代電子的基礎(chǔ)材料”而備受全球顯示器技�(shù)人員�(guān)注的就是氧化物半�(dǎo)體TFT。因為氧化物半導(dǎo)體TFT是驅(qū)動超高精細液晶面�、有機EL面板以及電子紙等新一代顯示器的TFT材料候選之一。預(yù)計最早將�2012�2013年開始實用化,將來或許還會成為具備“柔性”和“透明”等特點的電子元件的實現(xiàn)手段�
進一步擴大氧化物半導(dǎo)體的用途時碰到的課題是如何實現(xiàn)p型半�(dǎo)�。如果能實現(xiàn)高質(zhì)量的pn�(jié),就有望�(yīng)用于柔性透明的集成電�、LED以及太陽能電池等用途�
維庫電子�,電子知�,一查百��
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