液晶玻璃基板是TFT-LCD（薄�晶體管液�顯示�）的重要原材�，是影響顯示屏質量的重要零組件。液晶玻璃基板需求量近年來還是逐年�(wěn)增的趨勢，如今已經發(fā)展到�10代線�
玻璃基板由CF和TFT兩部分組�,如圖:
TFT陣列式基板形成階�
TFT array之制程主要清�,成膜,而后黃光制板,后再經蝕刻制程形成所要的圖樣,然后依光罩數而作 循環(huán)制程,在這循�(huán)制程中要先將洗凈的玻璃基板送進濺鍍機臺鍍上一層金屬后,再用黃光及蝕刻制程形成閘�,區(qū)域圖�,隋后玻璃基板經光阻剝離洗�,再以薄膜區(qū)電漿輔助化學相沉積機臺形成用作主動區(qū)�,經過一系列的協(xié)�.后以薄膜區(qū)化學氣相沉積楊臺上形成TFT區(qū)域保護層,挖出接角也洞,再濺鍍上一層氧化錮錫膜(ITO),再用黃光及蝕刻區(qū)制程形成畫素區(qū)域圖樣而在這循�(huán)制程中以后通TFT蝕刻制程為主要步�.
TFT的結構依�,�,汲極沉積的先后順�,大致可分為四�,如圖,目前正在產量TFT多是以反轉堆疊式結構為主,而因它構造簡單及制程容易則廣泛被TFT制造業(yè)者所采用,又由於制程有差異分為:1)后通道蝕刻TFT,2)后通護TFT或再稱為三層結構TFT.TFT的制作流程關鍵步驟是蝕刻后通道端的N型非晶矽.以形成閘極可控制的通道,這一般是干蝕刻法,而造成漏電流的原因可能后通道在作干鹿記得時容易造成物摶殘留.
TFT-LCD形成階段
在TFT-LCD玻璃完成所有制程后,再配合上另一擤具有紅,�,藍彩色濾光膜的玻�,先配向膜�,配向處理,間隔物的涂布及上框膠之后再進行兩片玻璃上下封組,切割裂片磨邊導角,清洗,再進行液晶注入及封�,再目檢及電測,其中最重要的步驟如�:
1)配向處理
目前所采用的配全處理方法是刷磨處理,主要是以卷在金屬滾軸的絨布刷磨燒制后的配向膜,使液晶分子能預先朝一定方向的方法.
2)間隔物的灑布
目的是為了獲得均勻的液晶厚度,它分散的密度高的話可以得到較均勻的CELL GAP,若間隔物有漏光時會降低品�,反之,間隔物分散度越低時便無法得均勻的CELL GAP,也會影響品質.因此適量均勻的間隔物灑布非常重要,目前以灑式散布法較容易控制密�, 要先做好灑上間隔�,固上框膠后才可以進行CF及TFT的封準組�.
3)面板切割
以TFT與CF的封準組合再以超硬質鋼刀滾輪切割再壓裂的方式得到每一片面�.
以后隋著外型,大小及模組外型的狹框�,薄型化的�(fā)�,以超硬質鋼刀無法潢足要求,以后以雷射切割的方式.
4)液晶注入
I將玻璃在機臺上用外框固定�,用直下式的方法注入液晶注入液晶時,應注意避免造成spacer broken及spacer聚集.)
II先讓CELL內部真空化后,將CELL的液晶注放口浸入液晶槽中,再以氮氣 作破真空的動�,內外壓力差與毛細現會使液晶注入CELL內部
Spacer broken:是注入液晶時,液晶顆粒�,兩片玻璃壓合時產生破�.
Spacer聚集:注入液晶�,液晶有大顆的也有小顆,由於液晶太小在中槽中會滾�,幾顆碰到一起就形成了Spacer聚集.
5)目檢及電�
液晶CELL工程主要的檢查是液晶注入后的配向檢查,初期點燈檢查與最終檢查而這些檢查都是以目視進行.
1)高解析度
2)高亮�
3)廣視�
4)低耗電�
5)低制造成�
維庫電子�，電子知�，一查百��
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