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霍爾效應(yīng)�(cè)量系�(tǒng)
閱讀�7891�(shí)間:2011-01-17 15:52:25

  霍爾效應(yīng)�(cè)量系�(tǒng)主要由恒電流�、范德堡法則終端�(zhuǎn)換器、低�(77K)�(cè)量系�(tǒng)�磁場�(qiáng)度輸入系�(tǒng)組成,擁有研�半導(dǎo)�材料霍爾效應(yīng)所有的部件和配�,是一套非常成熟的儀器系�(tǒng)�

特�

  1、可靠的精度及重�(xiàn)�

  恒電流源(1nA~20mA)采用六級(jí)電流范圍�(shè)�,將可以接收的誤差降�;范德堡法則�(zhuǎn)換使用非接觸裝置有效降低儀器噪�;軟硬件有針�(duì)性的�(shè)�(jì),確保每�(gè)�(shí)�(yàn)�(shù)�(jù)均為多次�(cè)試的平均�,使儀器擁有非常好的數(shù)�(jù)重現(xiàn)��

  2、產(chǎn)品小型化及操作簡單化

  小尺寸的磁場�(qiáng)度輸入系�(tǒng)使用永磁體和液氮低溫�(cè)量系�(tǒng)(77K),確保儀器操作非常簡�;兩種不同尺寸的傳統(tǒng)樣品�(20*20mm�6*6mm)及帶彈簧夾片的樣品板(SPCB),使得不同尺寸不同材料的薄膜樣品更容易測(cè)量,區(qū)別于傳統(tǒng)樣品板的彈簧夾片樣品板使得霍爾電極制作更方便且對(duì)樣品損傷更小�

  3、I-V曲線及I-R曲線�(cè)�

  采用圖表的方�,測(cè)量探�?biāo)狞c(diǎn)(A、B、C、D)間電�-電壓及電�-電阻�(guān)�,并以此�(píng)判樣品的歐姆接觸好壞、了解樣品的基本的電�(xué)特��

  4、多樣的�(shí)�(yàn)�(jié)�

  �(shí)�(yàn)�(jié)果由軟件自動(dòng)�(jì)算得�,可同時(shí)得到體載流子濃度(Bulk Carrier Concentration)、表面載流子濃度(Sheet Carrier Concentration)、遷移率(Mobility)、電阻率(Resistivity)、霍爾系�(shù)(Hall Coefficient)、磁致電�(Magnetoresistance)、電阻的縱橫比率(Vertical/Horizontal ratio of resistance)等等�

參數(shù)

  電流�:

  �(cè)量范�: 1nA - 10 mA

  輸出電壓: +/- 10V (+/-20V)

  輸出電阻: typical 1013 Ohms

  電流分辨�: 25 pA

  電壓�(cè)量:

  �(cè)量范�: 10 mV - 10V(自�(dòng)量程選擇�

  分辨� : <500nV

  輸入電阻: > 1013 Ohms

  磁場范圍�0.45T~2T(牛津磁體)�

  電阻�(cè)量范�: 1x10-3 Ohm - 1x109 Ohm

  電阻率測(cè)量范�: 1 x10-5 Ohm*cm - 1x107 Ohm*cm

  載流子濃度范�: 107 cm-3 - 1021 cm-3

�(yīng)�

  霍爾效應(yīng)�(cè)量系�(tǒng)用于�(cè)量半�(dǎo)體材料的載流子濃�、遷移率、電阻率、霍爾系�(shù)等重要參�(shù),而這些參數(shù)是了解半�(dǎo)體材料電�(xué)特性必須預(yù)先掌控的,因此霍爾效�(yīng)�(cè)試儀是理解和研究半導(dǎo)體器件和半導(dǎo)體材料電�(xué)特性必備的工具�

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