光學(xué)角度測量是高精度動態(tài)角度測量的一種有效的解決途徑。對目前�(fā)展較快的幾種角度測量的光�(xué)方法----�光柵測角�、光�(xué)�(nèi)反射小角度測量法、激光干涉測角法和環(huán)形激光測角法進行了詳細的介紹,并且分別給出了每種方法的測量原理和�(fā)展現(xiàn)狀,比較了各種方法的優(yōu)缺點,給出了每種方法的應(yīng)用場合和�(fā)展前��
角度測量是幾何量計量技�(shù)的重要組成部�,發(fā)展較為完�,各種測量手段的綜合運用使測量準確度達到了很高的水平。角度測量技�(shù)可以分為靜態(tài)測量和動�(tài)測量兩種。對于靜�(tài)測量技�(shù)來說,目前的主要任務(wù)集中在如何提高測量精度和測量分辨力上。隨著工�(yè)的發(fā)�,對回轉(zhuǎn)量的測量要求也越來越多,因此人們在靜態(tài)測角的基�(chǔ)�,對旋轉(zhuǎn)物體的轉(zhuǎn)角測量問題進行了大量的研究,產(chǎn)生了許多新的測角方法�
圓光柵是角度測量中最常用的器件之一。作為角度測量基準的光柵可以用平均讀�(shù)原理來減小由分度誤差和安裝偏心誤差引起的讀�(shù)誤差,因此其準確度高、穩(wěn)定可�。但在動�(tài)測量�,在10r/s 的轉(zhuǎn)速下,要想達�1'的分辨率都非常困�。目前我國的國家線角度基準采�64800�/周的圓光柵系�(tǒng),分辨率�0.001'',總的測量不確定度為0.05''。該測量方法主要是在靜態(tài)下的相對角度測量。英國國家物理實驗室(NPL)的E W Palmer 介紹了一臺作為角度基準的徑向光柵測角儀,如�1所�,既可用于測角,又可用于標定。其原理是利用兩�32400線的徑向光柵安裝�0.5r/s 的同一個軸套上,兩個讀�(shù)頭一個固定,一個裝在轉(zhuǎn)臺上連續(xù)旋轉(zhuǎn),信號間的相位差變化與轉(zhuǎn)角成正比。儀器中用一個自準直儀作為基準指示器,可以測得角度,利用光柵細分原理可�360度范圍內(nèi)的任意角�,附加零伺服機構(gòu)可以對轉(zhuǎn)臺進行實時�(diào)整,限制零漂。用干涉儀作為讀�(shù)�,可進行高精度測�。按95%置信度水平確定其系統(tǒng)誤差的不確定度為0.05''.
光從光密介質(zhì)傳到光疏介質(zhì)時,當入射角大于臨界角時�(fā)生全反射�(xiàn)�。內(nèi)反射法小角度測量就是利用在全反射條件下入射角變化時反射光強的變化�(guān)系,通過反射光強的變化來測量入射角的變化�。由于入射角在臨界角附近線性較�,隨著入射角的微小變�,反射光的強度發(fā)生急劇變化,因此測量時通常定義一個臨界角附近的初始角θ0 ,被測角為相對于該初始角的角位移Δθ,這樣就可以充分利用臨界角附近靈敏度較高的特點,進行小角度的高精度測量。該測量方法存在的一個問題是入射角和反射光強之間的關(guān)系是非線形的,靈敏度因此受到限制。為了減小函�(shù)非線性對測量�(jié)果的影響,采用差分式測量,其原理如圖3所�,首先分別測出�0+Δθ和�0 -Δθ的反射光強的變化,然后用線性化公式進行處理,以得到相應(yīng)的角度�。內(nèi)反射法是由P S Huang等人提出來的[18],用該方法制成的測角儀體積可以做得很小,因此特別適用于尺寸受限制的空間小角度的在線測量,而且�(jié)�(gòu)簡單,成本低。測量的靈敏度取決于初始入射角和全反射的反射次數(shù),增加反射次�(shù)可以提高靈敏�,提高分辨力,但測量范圍就相�(yīng)變小。因此P S Huang等人又在此基�(chǔ)上制成了多次反射型臨界角角度傳感器,用加長的臨界角棱鏡代替圖3的直角棱鏡以增加反射次數(shù),如�4所�。該儀器可用于表面形貌、直線度、振動等方面的測�。在測量角度方面,以3弧分范圍�(nèi)的分辨力�0.02弧秒。在接下來的工作�,P S Huang 等人又將其測角范圍擴大到30弧分,輸出信號峰-峰值的漂移小于0.04弧秒[19,20]。該儀器的缺點是成本高,加長的臨界角棱鏡加工困難。臺灣的National Chiao Tung University的Ming-Hong chin等人在此原理基礎(chǔ)上,提出了全�(nèi)反射外差干涉測角方法。用外差干涉測角方法。用外差干涉儀測量S偏振光和P偏振光之間的相位�,將傳感器的測角范圍擴大�10�,分辨力隨入射角的大小變化,分辨力可�8×1 0�5度[21]。Hong Kong University of Science and Technology的Wei Dong Zhou等人采用差動共光路結(jié)�(gòu),大大提高了系統(tǒng)的線�,并獲得�0�3角秒的分辨力�22�。天津大�(xué)和日本東北大�(xué)在這方面也進行了一些研究[23]�
角度可以表示為長度之比,長度的變化可以用激光干涉法在角度測量中得到廣泛的運�。干涉測角法不僅可以測量小角�,而且也可以測量整周角��4.1 激光干涉小角度測量
干涉小角度測量的基本原理可以表示成圖5的形�。采用邁克爾遜干涉原理,用兩路光程差的變化來表示角度的變�,經(jīng)角錐棱鏡反射的一路光的光程隨著轉(zhuǎn)角的變化而變化,因此干涉條紋也發(fā)生相�(yīng)的移�,測得條紋的移動�,就可測得轉(zhuǎn)臺的�(zhuǎn)角[24]。在此原理基�(chǔ)只上�(fā)展起來的角度測量系統(tǒng)都致力于光路�(jié)�(gòu)的改進和消除各種誤差因素的影響。經(jīng)過改進后可以測量大約90度的角度,但各種誤差因素隨著所測角度的增大而急劇增加,因此該系統(tǒng)的測量范圍限制在幾度�(nèi),在此范圍內(nèi)具有極高的測量準確度。這種技�(shù)已經(jīng)�(fā)展得非常成熟,美�、日本、德�、俄羅斯等國家早已將激光干涉小角度測量技�(shù)作為小角度測量的國家基準[25]。為了消除轉(zhuǎn)盤徑向移動對角度測量的影�,采用如�6所示的測量光路,用兩個角錐棱鏡形成差動測�,大大提高了系統(tǒng)的線性和靈敏�。為了增加干涉儀抗環(huán)境干擾的能力,可以采用雙頻激光外差干涉測量法,用雙頻激光代替普通光�。用這種方法測量平面�,靈敏度可達0.002''[26]�