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感光耦合元件
閱讀:8719時(shí)間:2010-12-31 11:18:34

  感光耦合元件(Charge Couple Device)是一種大規(guī)模金屬氧化物半導(dǎo)體(MOS)集成電路光電器件。它以電荷為信號(hào),具有光電信號(hào)轉(zhuǎn)換、存儲(chǔ)、轉(zhuǎn)移和讀出信號(hào)電荷的功能。CCD自1970年問世以來,由于其獨(dú)特的性能而發(fā)展迅速,廣泛應(yīng)用于航天、遙感、工業(yè)、農(nóng)業(yè)、天文及通訊等軍用及民用領(lǐng)域信息存儲(chǔ)及信息處理等方面,尤其適用以上領(lǐng)域中的圖像獲取。

結(jié)構(gòu)

  CCD是由若干個(gè)電荷耦合單元組成的。其基本單元是MOS(金屬-氧化物-半導(dǎo)體)電容器。它以P型(或N型)半導(dǎo)體為襯底,上面覆蓋一層厚度約120 nm的SiO2,再在SiO2表面依次沉積一層金屬電極而構(gòu)成MOS電容轉(zhuǎn)移器件。這樣一個(gè)MOS結(jié)構(gòu)稱為一個(gè)光敏元或一個(gè)像素。將MOS陣列加上輸入、輸出結(jié)構(gòu)就構(gòu)成了CCD器件。其結(jié)構(gòu)圖如下,

 

 

 

感光耦合元件結(jié)構(gòu)圖


 

工作原理

 �。茫茫闹饕扇糠纸M成:信號(hào)輸入、電荷轉(zhuǎn)移、信號(hào)輸出。

  輸入部分:將信號(hào)電荷引入到CCD的個(gè)轉(zhuǎn)移柵極下的勢(shì)阱中,稱為電荷注入。

  在CCD柵極上施加按一定規(guī)律變化、大小超過閾值的電壓,則在半導(dǎo)體表面形成不同深淺的勢(shì)阱。勢(shì)阱用于存儲(chǔ)信號(hào)電荷,其深度同步于信號(hào)電壓變化,使阱內(nèi)信號(hào)電荷沿半導(dǎo)體表面?zhèn)鬏�,從輸出二極管送出視頻信號(hào)。為了實(shí)現(xiàn)電荷的定向轉(zhuǎn)移,在CCD的MOS陣列上劃分成以幾個(gè)相鄰MOS電荷為一單元的循環(huán)結(jié)構(gòu)。一位CCD中含的MOS個(gè)數(shù)即為CCD的像素。

  光注入:用于攝像機(jī)。用光敏元件代替輸入二極管。當(dāng)光照射CCD硅片時(shí),在柵極附近的半導(dǎo)體體內(nèi)產(chǎn)生電子—空穴對(duì),其多數(shù)載流子被柵極電壓排開,少數(shù)載流子則被收集在勢(shì)阱中形成信號(hào)電荷。

特點(diǎn)

  感光耦合元件特點(diǎn)是以電荷作為信號(hào),而不同于其它大多數(shù)器件是以電流或者電壓為信號(hào)。它將光敏二極管陣列和讀出移位寄存器集成為一體,構(gòu)成具有自掃描功能的圖像傳感器。是一種金屬氧化物半導(dǎo)體(MOS)集成電路器件, 基本功能是進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換電荷的存儲(chǔ)和電荷的轉(zhuǎn)移輸出。其優(yōu)點(diǎn)如下:

 �。�.體積小,可靠性高,壽命長(zhǎng)。

 �。�.空間分辨率高,可以獲得很高的定位和測(cè)量精度。

 �。�.靈敏度高,動(dòng)態(tài)范圍大,紅外敏感性強(qiáng),信噪比高 。

 �。�.高速掃描,基本上不保留殘象

 �。�.集成度高

  6.可用于非接觸精密尺寸測(cè)量系統(tǒng)。

 �。�.無像元燒傷、扭曲,不受電磁干擾。

 �。�.有數(shù)字掃描能力。像元的位置可由數(shù)字代碼確定,便于與計(jì)算機(jī)結(jié)合接口。

應(yīng)用

  含格狀排列像素的CCD應(yīng)用於數(shù)碼相機(jī)、光學(xué)掃瞄器與攝影機(jī)的感光元件。其光效率可達(dá)70%(能捕捉到70%的入射光),優(yōu)於傳統(tǒng)膠片的2%,因此CCD迅速獲得天文學(xué)家的大量采用。

  CCD在天文學(xué)方面有一種奇妙的應(yīng)用方式,能使固定式的望遠(yuǎn)鏡發(fā)揮有如帶追蹤望遠(yuǎn)鏡的功能。方法是讓CCD上電荷讀取和移動(dòng)的方向與天體運(yùn)行方向一致,速度也同步,以CCD導(dǎo)星不僅能使望遠(yuǎn)鏡有效糾正追蹤誤差,還能使望遠(yuǎn)鏡記錄到比原來更大的視場(chǎng)。

  一般的CCD大多能感應(yīng)紅外線,所以衍生出紅外線影像、夜視裝置、零照度(或趨近零照度)攝影機(jī)/照相機(jī)等。為了減低紅外線干擾,天文用CCD常以液態(tài)氮或半導(dǎo)體冷卻,因室溫下的物體會(huì)有紅外線的黑體輻射效應(yīng)。CCD對(duì)紅外線的敏感度造成另一種效應(yīng),各種配備CCD的數(shù)位相機(jī)或錄影機(jī)若沒加裝紅外線濾鏡,很容易拍到遙控器發(fā)出的紅外線。降低溫度可減少電容陣列上的暗電流,增進(jìn)CCD在低照度的敏感度,甚至對(duì)紫外線和可見光的敏感度也隨之提升(信噪比提高)。

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