白光干涉儀SIS系列采用增加相位掃描干涉技�(shù),是專為�(zhǔn)確測(cè)量表面輪廓、粗糙度、臺(tái)階高度和其他表面參數(shù)而設(shè)�(jì)的微納米�(cè)量系�(tǒng),,為韓國(guó)SAMSUNG全球指定供應(yīng)�,LPL友好俱樂(lè)部成員,清華大學(xué),臺(tái)灣大�(xué),首爾大�(xué)友好合作伙伴�
1、非接觸式測(cè)量:避免物件受損�
2、三維表面測(cè)量:表面高度�(cè)量范圍為1nm-200μm�
3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切��
4、納米級(jí)分辨率:垂直分辨率可以達(dá)�0.1nm�
5、高速數(shù)字信�(hào)處理器:�(shí)�(xiàn)�(cè)�?jī)H需要幾秒鐘�
6、掃描儀:采用閉�(huán)控制系統(tǒng)�
7、工作臺(tái):氣�(dòng)裝置、抗�、抗壓�
8、測(cè)量軟件:基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界�,強(qiáng)大而快速的�(yùn)��
1、TFT�(chǎn)�(yè)
2、半�(dǎo)�
3、MEMS
4、高校科�
5、精密加�