氣體�(zhì)�流量傳感�有一�(gè)�加熱�與溫度敏感元件組成的薄膜隔熱�電橋式結(jié)�(gòu)。該電橋式結(jié)�(gòu)�(duì)流過(guò)芯片的空氣或其他氣體流量有靈敏和快速的反應(yīng)�
氣體�(zhì)量流量傳感器能同�(shí)顯示累積流量、瞬�(shí)流量、壓力和溫度,并具有通訊功能。氣體流量傳感器�(duì)流過(guò)傳感器的空氣、氧氣或其他的氣體有靈敏和快速的反應(yīng),并且在在很小的流量下有較高的準(zhǔn)確性,同時(shí)具有在大的流量下很好的重�(fù)性和很低的滯后��
氣體�(zhì)量流量傳感器�(yīng)用廣�,極大的影響著社�(huì)各行各業(yè)的發(fā)�。如工業(yè)生產(chǎn)、科�(xué)�(shí)�(yàn)、保證產(chǎn)品質(zhì)�、提高生�(chǎn)效率、節(jié)約能源、促�(jìn)科技的發(fā)展等方面起著重要作用�
氣體�(zhì)量流量傳感器的核心是一�(gè)加熱器和溫度敏感器,根據(jù)氣體流動(dòng)�(shí)所�(duì)�(yīng)的熱傳遞�(lái)探測(cè)氣流的速度和方�,并�(duì)流過(guò)芯片的空氣或其他氣體流量有著靈敏和快速的反應(yīng)�
1、熱式質(zhì)量流量傳感器
熱式傳感器的工作原理是:通過(guò)外加熱源將傳感器的感溫電阻加熱使其溫度高于環(huán)境溫�,當(dāng)有氣流通過(guò)�(shí),氣流的�(yùn)�(dòng)�(huì)帶走感溫電阻上的熱量,使得感溫電阻的溫度降低,通過(guò)�(cè)量感溫電阻溫度的變化�(lái)推算出所求的氣體�(zhì)量流�,即通過(guò)傳感器將氣流的變化轉(zhuǎn)換為溫度的變��
2、科里奧利式�(zhì)量流量傳感器
科里奧利式質(zhì)量流量傳感器是對(duì)科里奧利力的具體�(yùn)�,當(dāng)有氣體流�(jīng)一�(gè)旋轉(zhuǎn)的管道時(shí)�(huì)在管道內(nèi)形成和質(zhì)量流量相�(guān)的科里奧利力,通過(guò)�(cè)量旋�(zhuǎn)管道中氣流產(chǎn)生的科氏力就可以直接獲得氣體的質(zhì)量流�??剖蟼鞲衅饔捎诒旧砉ぷ髟淼奶厥庑跃哂袦y(cè)量準(zhǔn)確性高,復(fù)�(xiàn)性高,測(cè)量量程大,同�(shí)也可以測(cè)量各種性質(zhì)的液體流量等�(yōu)�(diǎn),被廣泛�(yīng)用于石油、化�、制藥等工業(yè)�(lǐng)�,但是科氏傳感器存在重量和體積較�、對(duì)外界的震�(dòng)干擾較為敏感等缺�(diǎn),應(yīng)用領(lǐng)域有一定的限制�
3、壓差式�(zhì)量流量傳感器
壓差式流量傳感器一般是由一�(duì)安置于一�(gè)縮小口徑兩側(cè)的節(jié)流件組成的傳感器,通過(guò)�(cè)�?jī)�?cè)的壓力差�(lái)獲得被測(cè)流量的體積流�,再通過(guò)體積流量和質(zhì)量流量之間的�(zhuǎn)化關(guān)系最終獲得流量的�(zhì)量流�。壓差式流量傳感器是�(zhì)量守恒定律和能量守恒定律的具體應(yīng)用。從傳統(tǒng)的孔板式流量�(jì)到現(xiàn)在的塔型流量�(jì),壓差式流量�(jì)己經(jīng)有上百年的發(fā)展歷史,也被廣泛�(yīng)用于工業(yè)、能�、交�、環(huán)境等各�(gè)�(lǐng)�。壓差式流量傳感器的不斷�(yōu)化不僅代表了工業(yè)水平的不斷�(jìn)�,更代表了人�(lèi)�(duì)科學(xué)技�(shù)的更高追求,相信隨著微電子和MEMS行業(yè)的不斷發(fā)�,壓差式流量傳感器一定有更廣闊的�(fā)展空��
1)傳感器靈敏度高,有極小的始�(dòng)流量
2)傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)�,無(wú)需溫度壓力�(bǔ)償,保證了傳感器的高精度�(jì)�
3)在單�(gè)芯片上集成了多�(gè)傳感�,使傳感器的量程比大大提�
4)傳感器的零�(diǎn)�(wěn)定度�
5)全量程高穩(wěn)定�
6)全量程高精確度和優(yōu)良的重復(fù)�
7)低功� �100 mW
8)低壓損 �1300 Pa
9)響�(yīng)�(shí)間快 8 msec
電纜充氣�(jī);醫(yī)用呼吸機(jī)和肺活量?jī)x;氣體檢�(cè)�(shè)�;氣體標(biāo)定等
維庫(kù)電子通,電子知識(shí),一查百��
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