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測量顯微�
閱讀�914�(shí)間:2022-06-09 10:59:03

    測量顯微�,采用透、反射的方式對工件長度和角度作精密測�。特別適用于錄象磁頭、大�(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試。廣泛地適用于計(jì)量室、生�(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門。工作臺除作X、Y坐標(biāo)的移�(dòng)�,還可以�360度的旋轉(zhuǎn),亦可以�(jìn)行高度方向做Z坐標(biāo)的測�;采用雙筒目鏡觀�。照明系�(tǒng)除作�、反射照明外還可以作斜光線照明。儀器�(jìn)一步可連接CCD電視攝像�,作工件的輪廓放�;亦可連接�(jì)算機(jī)�(jìn)行數(shù)�(jù)處理等測��

107JA

    �(chǎn)品簡介:

    測量顯微�107JA,采用�、反射的方式對工件長度和角度作精密測�。特別適用于錄象磁頭、大�(guī)模集成電路線寬以及其它精密零件的測試。廣泛地適用于計(jì)量室、生�(chǎn)作業(yè)線及科學(xué)研究等部門�

    107J為光柵數(shù)顯的小型精密測量儀�。工作臺除作X、Y坐標(biāo)的移�(dòng)�,還可以�360o的旋�(zhuǎn),亦可以�(jìn)行高度方向做Z坐標(biāo)的測�;采用雙筒目鏡觀�。照明系�(tǒng)除作�、反射照明外還可以作斜光線照明。儀器�(jìn)一步可連接CCD電視攝像�,作工件的輪廓放�;亦可連接�(jì)算機(jī)�(jìn)行數(shù)�(jù)處理等測�。是一種理想的多用途的小型精密測量儀��

    107JA測量顯微�

    技�(shù)參數(shù)�

    1、鏡筒:粗動(dòng):調(diào)節(jié)范圍 90毫米

    微動(dòng):調(diào)節(jié)范圍2毫米

    高(Z)測量:范圍1毫米,小讀�(shù)0.001毫米(比較測量)

    鏡筒:雙目鏡� 俯角45º

    2、工作臺:左右(X軸):移�(dòng)范圍25毫米

    前后(Y軸):移�(dòng)范圍25毫米

    分辨率:1微米

    旋轉(zhuǎn)�360º

    3、照明系�(tǒng):光源:透射照明�8V12W �(lán)、綠色濾光片

    反射照明�8V12W 磨沙燈泡、綠色濾光片

    � � 明,8V12W綠色濾光�

    電源:AC220±22V 50/60Hz

    4、光�(xué)系統(tǒng):目鏡:BWF 10X

    物鏡�4X、工作距�17.5、焦�28.8

    10X、工作距�11.6、焦�15.4

    40X、工作距�0.66、焦�4.4

    5、光�(xué)放大倍數(shù):

    放大倍數(shù)�:目鏡x物鏡

    電子放大倍數(shù)�:35x~2500x



基本原理

    與STM類似,在AFM中,使用對微弱力非常敏感的彈性懸臂上的針尖對樣品表面作光柵式掃描。當(dāng)針尖和樣品表面的距離非常接近�(shí),針尖的原子與樣品表面的原子之間存在極微弱的作用力(10-12~10-6N�,此�(shí),微懸臂就會�(fā)生微小的彈性形變。針尖與樣品之間的力F與微懸臂的形變之間遵循虎克定律:F=-k*x ,其中,k為微懸臂的力常數(shù)。所以,只要測出微懸臂形變量的大�,就可以獲得針尖與樣品之間作用力的大小。針尖與樣品之間的作用力與距離有�(qiáng)烈的依賴�(guān)�,所以在掃描過程中利用反饋回路保持針尖與樣品之間的作用力恒定,即保持為懸臂的形變量不�,針尖就會隨樣品表面的起伏上下移�(dòng),記錄針尖上下運(yùn)�(dòng)的軌跡即可得到樣品表面形貌的信息。這種工作模式被稱為“恒力”模式(Constant Force Mode�,是使用廣泛的掃描方��

    AFM的圖像也可以使用“恒高”模式(Constant Height Mode)來獲得,也就是在X,Y掃描過程�,不使用反饋回路,保持針尖與樣品之間的距離恒定,通過測量微懸臂Z方向的形變量來成�。這種方式不使用反饋回�,可以采用更高的掃描速度,通常在觀察原�、分子像�(shí)用得比較�,而對于表面起伏比較大的樣品不適用�


技�(shù)參數(shù)

    技�(shù)參數(shù)�

    1、鏡筒:粗動(dòng):調(diào)節(jié)范圍 90毫米,微�(dòng):調(diào)節(jié)范圍2毫米,高(Z)測量:范圍1毫米,小讀�(shù)0.001毫米(比較測量),鏡筒:雙目鏡筒 俯角45?�

    2、工作臺:左右(X軸):移�(dòng)范圍25毫米,前后(Y軸)

    測量顯微�

    :移�(dòng)范圍25毫米,分辨率�1微米,旋�(zhuǎn)�360?�

    3、照明系�(tǒng):光源:透射照明�8V12W �(lán)、綠色濾光片,反射照明,8V12W 磨沙燈泡、綠色濾光片,斜 � ��8V12W綠色濾光�,電源:AC220±22V 50/60Hz�

    4、光�(xué)系統(tǒng):目鏡:BWF 10X;物鏡:4X、工作距�17.5、焦�28.8�10X、工作距�11.6、焦�15.4�40X、工作距�0.66、焦�4.4�

    5、X---Y軸測量范圍:50×13mm�

    6、測微器分度值:0.01mm�

    7、圓工作臺角度測量范圍:0°/360°�

    8、儀器測量準(zhǔn)確度:儀器示值誤差�(5+L/15)�

    9、放大倍數(shù) 25×/100×


維庫電子�,電子知�,一查百��

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