臺式掃描電子顯微�(Desktop Scanning Electron Microscope)是一種體積小�,可安放在實驗臺面上操作的電子顯微鏡。其原理和傳�(tǒng)(落地�)掃描電子顯微�相同。部件包�:電子�(fā)�、電磁透鏡、信號探�、真空系�(tǒng)、計算機控制系統(tǒng)�
臺式掃描電子顯微鏡(Desktop Scanning Electron Microscope, Desktop SEM)的概念是美國FEI公司�1997年原FEI和飛利浦電子光學(xué)合并而成)�2004年提出的,并�2006年正式發(fā)布了旗下的Phenom臺式掃描電鏡。相較于傳統(tǒng)大型SEM,臺式掃描電鏡具有體積小、操作簡便且價格便宜的優(yōu)�,大放大倍數(shù)一般在20,000倍左�。此類新型儀器的出現(xiàn)填補了光�(xué)顯微鏡與傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡之間的間隙�
隨著科學(xué)研究與工�(yè)生產(chǎn)進入了納米領(lǐng)�,人們對顯微技�(shù)、顯微儀器的要求越來越高,需求也日益增長�
光學(xué)顯微鏡價格便�,操作簡單,但由于可見光波長的限�,其放大倍數(shù)只能達到1000倍左�;傳�(tǒng)大型掃描電子顯微鏡有效放大倍數(shù)可以達到�(shù)萬�,具有大景深,是�(dāng)前材料科�(xué)、生物科�(xué)�(lǐng)域常用的表征手段,但其投資巨�,而且需要經(jīng)過嚴(yán)格培�(xùn)的操作人�,使用不便�
為了解決這一矛盾,美國FEI公司�2004年提出了臺式掃描電鏡的概念。不同于傳統(tǒng)大型掃描電鏡,臺式掃描電鏡是一種全新的�(shè)�,其�(jié)合了光學(xué)顯微鏡與傳統(tǒng)掃描電鏡的優(yōu)�。既保留的掃描電鏡較高的放大倍數(shù)和大景深,同時體積小、操作簡�,價格僅為傳�(tǒng)電鏡的幾�,逼近高端光學(xué)顯微鏡的價格�
真空系統(tǒng):一般采用機械泵與分子泵�(lián)�
電子槍:一般為LaB6(六硼化鑭)、CeB6(六硼化鈰)或鎢燈絲,其中鎢燈絲的壽命較�,僅�40-100小時,需頻繁更換,LaB6、CeB6燈絲壽命1000小時,且亮度更高。目前尚沒有采用場發(fā)射(Field Emission)的臺式掃描電鏡�
電磁透鏡
探測器:背散射電子或二次電子探測�
放大倍數(shù)高(相對光學(xué)顯微鏡)
大景�
體積小巧
操作簡便
價格便宜
�(diào)查表明接�90%的SEM圖片是在2萬倍以下拍攝的,因此臺式掃描電鏡可以滿足絕大多�(shù)傳統(tǒng)SEM用戶的需�,其�(yīng)用領(lǐng)域及其防范,包括�
粉末;半�(dǎo)體;微電�;金像;制藥;造紙;生命科�(xué)�
維庫電子�,電子知�,一查百��
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