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激光刻阻機
閱讀�1122時間�2022-03-02 13:48:25

    激光刻阻機,激光波長為1064/532/355nm,激光頻率為200Hz-50KHz �

設備特點

    --調阻精度高:的激光器提供了TEM00高光束質量和極細線寬的激光束;四線制高速測量系�(tǒng),測量時間僅�25us;擁有軟件預調誤差補償功��

    --調阻速度快:的激光器擁有極高的重復頻�,在保證光斑重疊率的情況下能擁有很高速度;德國進口掃描振鏡,掃描速度極快;高精度分步重復機構,空氣軸�,移動速度及加速度��

    --可靠性高:整機配置核心器件均采用原裝進口配置;采用花崗巖臺座,穩(wěn)定可��

    --功能強大:擁有溫度實時補償功能;同時具有激光劃片和打標功能�

    --運行及維護成本低廉:采用半導體端面泵浦或光纖激光器;使用壽命長,性能�(wěn)定;電光轉換效率�,節(jié)約用電成本;采用風冷系統(tǒng),無須外置冷卻設備;操作簡單,無須高額培訓成本;


技術參�(shù)

    --激光器系統(tǒng)�

    激光類型:半導體端面泵浦激光器/光纖激光器

    激光波長:1064/532/355nm

    激光平均功率:10W/20W/7W(UV355)

    激光頻率:200Hz-50KHz

    典型光斑尺寸�30μm

    實際切口取決于材�、光學器件和波長;可根據(jù)需要選�532綠激光或355紫外激光小光斑�12μm

    泵浦源使用壽命:20,000�100�000小時

    冷卻方式:風�

    對焦方式:計算機程序控制

    --激光束定位系統(tǒng)�

    激光束運動范圍�75mmX75mm(可選配其他�(guī)格)

    點到點運動時間:5ms(典型)

    大速度�7000mm/s

    重復定位精度�2.5μm

    激光束小步進:0.76μm

    --圖像�(jiān)視系�(tǒng)�

    �(jiān)視方式:激光同軸監(jiān)�

    大放大倍數(shù)�>100�

    圖像�(jiān)視顯示屏�19寸液�

    --測量系統(tǒng)�

    激勵方式:電流/電壓激�

    恒流源:0.01μA~100mA計算機程控選�

    恒壓源:0~20V計算機程控選擇(可選其它電壓范圍�

    電阻測量方式:四線制加電流測電壓

    直流電壓測量�10mV~10V(滿程電壓)

    調節(jié)對象�(fā)熱控制:程序可設�

    電阻測量精度:低阻:<0.05%+1%/R(R<100Ω�

    中阻�<0.05%

    高阻�<0.05%+0.02%r(r>0.1MΩ�

    電阻測量范圍�0.01Ω-500MΩ

    電阻測量速度�25μs

    直流電壓分辨率:0.16μV(在10mV滿量程條件下�

    探針板:44�11組四線制(可選其它規(guī)格)

    探針板運動:計算機程序控�

    --計算機及軟件系統(tǒng)�

    工業(yè)控制計算機(雙核��17寸液�

    操作系統(tǒng):WindowsXP

    VB平臺開發(fā)的可視化應用軟件,界面友�,功能強�

    --分步重復運動系統(tǒng)�

    運動XY范圍�290x260mm

    運動分辨率:1μm

    定位精度:小�6μm(帶誤差補償�

    重復定位精度:小�3μm

    大運動速度�900mm/s

    具有溫度補償?shù)裙�?/p>

    --非接觸溫度測量:

    溫度測量精度�0.2�

    調阻溫度修正:計算機程序控制

    --其它技術指標:

    供電電壓�220VAC

    整機功耗:小于1000W


應用和市�

    應用和市場:主要應用于厚�、薄膜電路的精密調節(jié)。廣泛應用于厚膜混合集成電路、電子元器件、汽車電�、傳感器、軍工科�、片式電阻等行業(yè)�

維庫電子�,電子知�,一查百��

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