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電容式壓力傳感器
閱讀�5918�(shí)間:2018-08-10 15:11:07

   電容壓力傳感�(capacitive type pressure transducer�,是一種利用電容敏感元件將被測壓力�(zhuǎn)換成與之成一定關(guān)系的電量輸出的壓力傳感器。特�(diǎn)�,低的輸入力和侏儒能�,高�(dòng)�(tài)響應(yīng),小的自然效�(yīng),環(huán)境適�(yīng)性好�

目錄

原理

   它一般采用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的一�(gè)電極,當(dāng)薄膜感受壓力而變形時(shí),薄膜與固定電極之間形成的電容量�(fā)生變�,通過測量電路即可輸出與電壓成一定關(guān)系的電信�。電容式壓力傳感器屬于極距變化型電容式傳感器,可分為單電容式壓力傳感器和差動(dòng)電容式壓力傳感器�

類型

   單電容式壓力傳感�
   它由圓形薄膜與固定電極構(gòu)�。薄膜在壓力的作用下變形,從而改變電容器的容�,其靈敏度大致與薄膜的面積和壓力成正比而與薄膜的張力和薄膜到固定電極的距離成反比。另一種型式的固定電極取凹形球面狀,膜片為周邊固定的張緊平�,膜片可用塑料鍍金屬層的方法制成。這種型式適于測量低壓,并有較高過載能力。還可以采用帶活塞動(dòng)極膜片制成測量高壓的單電容式壓力傳感�。這種型式可減小膜片的直接受壓面積,以便采用較薄的膜片提高靈敏�。它還與各種�(bǔ)償和保護(hù)部以及放大電路整體封裝在一起,以便提高抗干擾能�。這種傳感器適于測量動(dòng)�(tài)高壓和對飛行器�(jìn)行遙�。單電容式壓力傳感器還有傳聲器式(即話筒式)和聽診器式等型式�
   差動(dòng)電容式壓力傳感器
   它的受壓膜片電極位于兩�(gè)固定電極之間,�(gòu)成兩�(gè)電容�。在壓力的作用下一�(gè)電容器的容量增大而另一�(gè)則相�(yīng)減小,測量結(jié)果由差動(dòng)式電路輸�。它的固定電極是在凹曲的玻璃表面上鍍金屬層而制�。過載時(shí)膜片受到凹面的保�(hù)而不致破裂。差�(dòng)電容式壓力傳感器比單電容式的靈敏度高、線性度�,但加工較困難(特別是難以保證對稱性),而且不能�(shí)�(xiàn)對被測氣體或液體的隔離,因此不宜于工作在有腐蝕性或雜質(zhì)的流體中�

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