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陶瓷壓力傳感器
閱讀:4708時(shí)間:2018-08-06 10:46:26

    抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞,壓力直接作用在陶瓷膜片的前表面,使膜片產(chǎn)生微小的形變,厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的背面,連接成一個(gè)惠斯通電橋(閉橋),由于壓敏電阻的壓阻效應(yīng),使電橋產(chǎn)生一個(gè)與壓力成正比的高度線性、與激勵(lì)電壓也成正比的電壓信號,標(biāo)準(zhǔn)的信號根據(jù)壓力量程的不同標(biāo)定為2.0 / 3.0 / 3.3 mV/V等,可以和應(yīng)變式傳感器相兼容。

工作原理

   通過激光標(biāo)定,傳感器具有很高的溫度穩(wěn)定性和時(shí)間穩(wěn)定性,傳感器自帶溫度補(bǔ)償0~70℃,并可以和絕大多數(shù)介質(zhì)直接接觸。

基本結(jié)構(gòu)

   陶瓷壓力傳感器主要由瓷環(huán)、陶瓷膜片和陶瓷蓋板三部分組成。陶瓷膜片作為感力彈性體,采用95%的AL2O3瓷精加工而成,要求平整、均勻、質(zhì)密,其厚度與有效半徑視設(shè)計(jì)量程而定。瓷環(huán)采用熱壓鑄工藝高溫?zé)瞥尚�。陶瓷膜片與瓷環(huán)之間采用高溫玻璃漿料,通過厚膜印刷、熱燒成技術(shù)燒制在一起,形成周邊固支的感力杯狀彈性體,即在陶瓷的周邊固支部分應(yīng)形成無蠕變的剛性結(jié)構(gòu)。在陶瓷膜片上表面,即瓷杯底部,用厚膜工藝技術(shù)做成傳感器的電路。陶瓷蓋板下部的圓形凹槽使蓋板與膜片之間形成一定間隙,通過限位可防止膜片過載時(shí)因過度彎曲而破裂,形成對傳感器的抗過載保護(hù)。

基本特性

   陶瓷是一種公認(rèn)的高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和振動(dòng)的材料。陶瓷的熱穩(wěn)定特性及它的厚膜電阻可以使它的工作溫度范圍高達(dá)-40~135℃,而且具有測量的高精度、高穩(wěn)定性。電氣絕緣程度>2kV,輸出信號強(qiáng),長期穩(wěn)定性好。高特性,低價(jià)格的陶瓷傳感器將是壓力傳感器的發(fā)展方向,在歐美國家有全面替代其它類型傳感器的趨勢,在中國也越來越多的用戶使用陶瓷傳感器替代擴(kuò)散硅壓力傳感器。

性能特點(diǎn)

   堅(jiān)固的陶瓷敏感膜片
   零點(diǎn)、滿量程激光標(biāo)定
   卓越的抗腐蝕、抗磨損性能
   抗沖擊、抗震動(dòng)
   高精度、高穩(wěn)定性
   寬的工作溫度范圍
   體積小巧,易封裝
   競爭力的價(jià)格

技術(shù)參數(shù)

   供電電壓:5~30VDC
   橋臂電阻:11k±20%
   量程范圍:100kPa~60Mpa
   響應(yīng)時(shí)間:<1mS
   綜合誤差(包括:線性、遲滯、重復(fù)性):0.2~0.4FS%
   零點(diǎn)輸出:0±0.2mV/V
   滿量程輸出:2.0~4.8mV/V
   溫度特性(溫補(bǔ)范圍:0~70℃):±0.015 %FS/℃
   穩(wěn)定性:<0.2%FSO/年
   工作溫度:-40~135℃
   抗絕緣性:>2kV

常用量程

   0…100kPa
   0…200kPa
   0…500kPa
   0…1Mpa
   0…2Mpa
   0…5Mpa
   0…10Mpa
   0…25Mpa
   0…40Mpa
   0…60Mpa
   0…200kPa

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