沖擊�速度傳感�,采�MEMS技�(shù)與微電子技�(shù)成果研制而成,集加速度傳感�、信號變換器�電源變換�、信號濾波電路、飽和控制與溫度�(bǔ)償于一�,具有微體積、微功�、微噪聲、高集成、高�(wěn)�、高可靠、低溫漂、環(huán)境適�(yīng)性強(qiáng)等特�(diǎn)�
適用于量程達(dá)100000g 的沖擊加速度參數(shù)測量與控��
量程 ±100000g
頻率響應(yīng) 0.1�10000Hz
輸出信號 0.15 ±50mv�4800mv(可變) 測量線性度、重�(fù)性及遲滯�
均優(yōu)�1% 供電電壓 ±15±0.5V 功�
沖擊加速度傳感器的�(jié)�(gòu)形式�,常見的有柱式、膜片式�(jié)�(gòu),圖中是我們采用的周邊圓支圓形�(guī)膜片�(jié)�(gòu),中心帶敏感�(zhì)量塊??拷鼒A膜片邊緣�(yīng)變的位置,用�(kuò)散參雜法沿徑�110和切�110晶向�(kuò)散四個阻值相等的電阻�,經(jīng)蒸渡鋁電極鏈�4個性能一致的電阻�(gòu)成惠斯頓電橋�
動態(tài)特� |
|
測量范圍(峰值) |
±10,000g |
靈敏�(25�) ±5% |
0.5pC/g (160Hz) |
頻率響應(yīng)(�1dB) |
1-15,000Hz |
安裝諧振頻率 |
�55,000Hz |
橫向靈敏度比 |
�5% |
電氣性能 |
|
絕緣電阻 |
>10 Ω |
電容 |
�4PF |
極� |
� |
�(huán)境特� |
|
工作溫度 |
-54℃~+150� |
溫度響應(yīng) |
見附� |
物理特� |
|
�(jié)�(gòu)形式 |
剪切 |
殼體材料 |
304不銹� |
輸出方式 |
頂端M5 |
安裝方式 |
M6 |
壓電材料 |
石英 |
重量 |
�10� |
附件 |
|
安裝螺栓 |
M6 |
電纜� |
雙頭M5低噪聲屏蔽電�2� |
靈敏度的選擇
加速度傳感器產(chǎn)品介紹給出了參考量程范圍,目的是讓用戶在眾多不同靈敏度的加速度傳感器中能方便地選出合適的產(chǎn)�,最小加速度測量值也稱最小分辨率,考慮到后級放大電路噪聲問題,�(yīng)盡量�(yuǎn)離最小可用�,以確保信噪��
測量極限要考慮加速度傳感器自身的非線性影響和后續(xù)儀器的輸出電壓,估算方法:被測加速度×傳感器的電荷/電壓靈敏�,以上數(shù)值是否超過配套儀器的輸入電荷/電壓�,建議如已知被測加速度范圍可在傳感器指�(biāo)中的“參考量程范圍”中選擇(兼顧頻�、重量),同時,在頻�、重量允許的情況�,靈敏度可考慮高些,以提高后續(xù)儀器輸入信�,提高信噪比�
頻率選擇
生產(chǎn)廠給出的頻響曲線是用螺釘安裝�,一般將曲線分成二段:諧振頻率和使用頻率。使用頻率的給值是按靈敏度偏差給出,有±10%、�5%、�3dB。諧振頻率一般是避開不用,但也有特例,如軸承故障檢測�
選擇加速度傳感器的頻率�(yīng)高于被測物的振動頻率,有倍頻分析要求的加速度傳感器頻響應(yīng)更高。土木工程是低頻,加速度傳感器可選擇0.2Hz�1kHz左右,機(jī)械設(shè)備一般是中頻�,可根據(jù)�(shè)備轉(zhuǎn)�、設(shè)備剛度等因素綜合估計頻率,選�0.5Hz�5kHz的加速度�。沖擊測量高頻居��
加速度傳感器的安裝方式不同也會改變使用頻響(對振動值影響不大),安裝面要平整、光�,安裝選擇應(yīng)根據(jù)方便、安全的原則�
加速度傳感器的重量、靈敏度與使用頻率成反比,靈敏度高,重量�,使用頻率低,這也是選擇的技��
�(nèi)部結(jié)�(gòu)
�(nèi)部結(jié)�(gòu)是指敏感材料晶體片感受振動的方式及安裝形�,有壓縮和剪切兩大類,常見的有中心壓縮、平面剪�、三角剪切、環(huán)型剪�。中心壓縮頻響高于剪切型,剪切型的環(huán)境適�(yīng)性好于中心壓縮型。如配用積分型電荷放大器測量速度、位移時,選用剪切型�(chǎn)�,這樣所得信號波動小,穩(wěn)定性好�