MEMS壓力傳感�是一種薄膜元�,受到壓力時(shí)變形??梢岳�?yīng)變儀(壓阻型感測(cè))來�(cè)量這種形變,也可以通過電容感測(cè)兩�(gè)面之間距離的變化來加以測(cè)�。這兩種方法都很流行,輪胎壓力�(jiān)�(cè)系統(tǒng)使用比較�(jié)�(shí)的壓阻方��
1.�(yīng)用于汽車行業(yè)
MEMS壓力傳感器在汽車中的一�(gè)新應(yīng)用是傳動(dòng)系統(tǒng)壓力感測(cè),通常用于自動(dòng)裝置之中,但也用于新型雙離合器傳�(dòng)系統(tǒng)。德�(guó)廠商推出了一款MEMS解決方案,使用油來保�(hù)硅薄�,使其可以耐受70巴的壓力。博世幾年前也曾為MEMS壓力傳感器帶來巨大變�,當(dāng)�(shí)使用的是多孔�,帶來了高度可靠的MEMS器件,這些器件已用于目前的�(cè)面氣囊等�(yīng)用之��
2.�(yīng)用于�(yī)療市�(chǎng)
壓力傳感器主要充�(dāng)外科手術(shù)使用的一次性低成本�(dǎo)�。但它們也用于昂貴的設(shè)備之�,在連續(xù)氣道正壓通氣(CPAC)機(jī)中感�(cè)壓力與差��
3.�(yīng)用于工業(yè)�(lǐng)�
MEMS壓力傳感器的主要�(yīng)用包括采暖通風(fēng)及空�(diào)(HVAC�、水平面�(cè)�、各種工�(yè)過程與控制應(yīng)用。例�,除了精確的高度氣壓�(cè)量,飛機(jī)使用傳感器監(jiān)�(cè)引擎、襟翼等其它部件�