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微壓力傳感器
閱讀�4779�(shí)間:2017-12-06 13:53:53

  �壓力傳感�是采用半�(dǎo)體材料和MEMS工藝制造的新型�力傳感器。與傳統(tǒng)壓力傳感�比擬,微壓力傳感用具有精度高、敏捷度�、動(dòng)�(tài)特性好、體積小、耐侵蝕、本錢低等長�。純單晶硅的材料疲憊�,采用這種材料制造的微壓力傳感器的長期不亂性好。同�(shí),微壓力傳感器易于與微溫度傳感器集成,增加溫度補(bǔ)償精�,大幅�(jìn)步傳感器的溫度特性和丈量精度。假如將2�(gè)微壓力傳感器集成,又可以�(shí)�(xiàn)靜壓�(bǔ)�,從而�(jìn)步壓力傳感器的靜壓特性。由此可�,微壓力傳感用具有很多傳�(tǒng)壓力傳感器不具備的長�,能夠很好地滿足石化行業(yè)�(duì)壓力傳感器的需��

 

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